[實用新型]一種密封性檢測設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821405853.3
• 申請日: 2018-08-29
• 公開（公告）號: CN208860545U
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發(fā)明（設計）人: 楊鋒鋒;余臘鋒;蘭邦銀;占光富;紀曉榕;吳福忠
• 申請（專利權(quán)）人: 米亞索樂裝備集成（福建）有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

一種密封性檢測設備，該裝置包括氣體存儲裝置、氣體檢測裝置和至少兩個背襯管連接器；每一所述背襯管連接器用于與一個背襯管密封相連，所述至少兩個背襯管連接器依次串聯(lián)設置，以在所述背襯管連接器連接有背襯管時，使至少兩個背襯管相串聯(lián)；所述氣體存儲裝置與所述背襯管連接器的相連通，所述氣體存儲裝置用于儲存檢測氣體，以及將檢測氣體充入連接至所述背襯管連接器的背襯管。所述氣體檢測裝置用于檢測充入背襯管的檢測氣體是否從背襯管中溢出。通過將至少兩個背襯管連接器串聯(lián)設置，在檢測時，將背襯管密封于背襯管連接器上，能夠一次實現(xiàn)對多個背襯管連接器的檢測，提高檢測效率。

技術領域

本申請涉及檢測技術領域，尤其涉及一種密封性檢測設備。

背景技術

圓柱靶材為圓柱型背襯管上覆蓋一定厚度金屬。靶材在使用時，圓柱型背襯管內(nèi)會通入冷卻循環(huán)水，冷卻循環(huán)水用來帶走靶材在濺射時產(chǎn)生的熱量，以保證靶材溫度恒定，從而使濺射過程連續(xù)穩(wěn)定，進而得到厚度均勻的濺射膜層。

靶材的使用環(huán)境為高真空腔室，如果背襯管密封性能不好，冷卻循環(huán)水會從背襯管內(nèi)漏出，呈水汽或液體狀態(tài)進入真空腔室。若冷卻循環(huán)水呈水汽泄露，水汽會破壞真空腔室的真空度，從而影響靶材濺射的進行，甚至會導致靶材打火，中斷靶材濺射過程等。

現(xiàn)有的背襯管密封性檢測通過對背襯管逐根檢測實現(xiàn)，檢測過程中需要不斷拆裝需要檢測和檢測完成的背襯管，檢測效率較低。

實用新型內(nèi)容

本申請?zhí)峁┮环N密封性檢測設備，以解決現(xiàn)有的背襯管密封性檢測效率較低的問題。

本實用新型實施例提供了一種密封性檢測設備，包括氣體存儲裝置、氣體檢測裝置和至少兩個背襯管連接器；

每一所述背襯管連接器用于與一個背襯管密封相連，所述至少兩個背襯管連接器依次串聯(lián)設置，以在所述背襯管連接器連接有背襯管時，使至少兩個背襯管相串聯(lián)；

所述氣體存儲裝置與所述背襯管連接器的相連通，所述氣體存儲裝置用于儲存檢測氣體，以及將檢測氣體充入連接至所述背襯管連接器的背襯管。

所述氣體檢測裝置用于檢測充入背襯管的檢測氣體是否從背襯管中溢出。

可選的，每一所述背襯管連接器的兩端各設有一個控制閥門。

可選的，每一所述背襯管連接器還包括氣壓檢測裝置，所述氣壓檢測裝置用于測量與所述背襯管連接器相連的背襯管內(nèi)的氣壓。

可選的，所述氣體存儲裝置的輸出端設置有氣體閥門。

可選的，還包括盲板，所述盲板用于密封與最遠離所述氣體存儲裝置的背襯管連接器相連的背襯管。

可選的，所述背襯管連接器包括法蘭和與所述法蘭相連的導氣管，所述法蘭用于和所述背襯管密封連接。

本申請通過將至少兩個背襯管連接器串聯(lián)設置，在檢測時，將背襯管密封于背襯管連接器上，能夠一次實現(xiàn)對多個背襯管連接器的檢測，提高檢測效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術方案，下面將對本實用新型實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲取其他的附圖。

圖1是本實用新型第一實施例提供的密封性檢測設備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型第二實施例提供的背襯管密封性檢測方法的流程圖。

具體實施方式