[實用新型]一種多波長和多加工方式的飛秒激光加工系統

有效

• 申請號: 201821404754.3
• 申請日: 2018-08-29
• 公開（公告）號: CN209050272U
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發明（設計）人: 王建剛;張義;程偉;張偉;李國棟
• 申請（專利權）人: 武漢華工激光工程有限責任公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/064;B23K26/067
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102
• 代理人: 劉秋芳

1.一種多波長和多加工方式的飛秒激光加工系統，其特征在于，包括沿光路設置的多波長激光器、光路切換裝置、光束整形裝置和加工平臺；所述多波長激光器能夠產生多個不同波長的激光，并一次發射一個或多個不同波長的激光；所述光路切換裝置設有多個，每個光路切換裝置包括通光孔、反射鏡和分光鏡；所述光束整形裝置的數量與多波長激光器發射的激光的數量一致，每個光束整形裝置包括擴束鏡、準直鏡、聚焦鏡、振鏡和耦合聚焦鏡；所述加工平臺與多波長激光器發射的激光的數量一致，每個加工平臺用于固定對應材料的待加工產品。

2.根據權利要求1所述的多波長和多加工方式的飛秒激光加工系統，其特征在于，所述多波長激光器包括多個定波長激光器，每個定波長激光器發射一種波長的激光。

3.根據權利要求1所述的多波長和多加工方式的飛秒激光加工系統，其特征在于，所述多波長激光器包括激光發生機構和用于將所述激光發生機構發射的激光分光倍頻成不同波長激光的分光倍頻機構。

4.根據權利要求1所述的多波長和多加工方式的飛秒激光加工系統，其特征在于，所述光路切換裝置包括電機以及安裝在所述電機輸出軸上的鏡架，所述鏡架上設有兩個通孔，其中一個通孔上根據需求安裝有反射鏡或分光鏡，另一個通孔作為通光孔。

5.根據權利要求1所述的多波長和多加工方式的飛秒激光加工系統，其特征在于，該系統還包括設置在多波長激光器后端與其發射的激光一一對應的擴束鏡。

6.根據權利要求1所述的多波長和多加工方式的飛秒激光加工系統，其特征在于，該系統還包括設置在每個光束整形裝置后端的半透半反鏡和視覺CCD。

7.根據權利要求1所述的多波長和多加工方式的飛秒激光加工系統，其特征在于，所述加工平臺上設置有平移部、抬升部和/旋轉部，用于實現加工平臺上的平移、抬升或/旋轉。