[實用新型]雙面拋光機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821404099.1 | 申請日: | 2018-08-29 |
| 公開(公告)號: | CN208854392U | 公開(公告)日: | 2019-05-14 |
| 發(fā)明(設計)人: | 王樂軍;李琳琳;宋士佳;彭東陽;劉桂勇;姜宏 | 申請(專利權(quán))人: | 東泰高科裝備科技(北京)有限公司 |
| 主分類號: | B24B29/02 | 分類號: | B24B29/02;B24B41/02;B24B41/06 |
| 代理公司: | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 韓建偉;謝湘寧 |
| 地址: | 102209 北京市*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 拋光盤 外齒輪 中心齒輪 雙面拋光機 驅(qū)動裝置 驅(qū)動組件 容納空間 驅(qū)動 轉(zhuǎn)動 嚙合 第二驅(qū)動裝置 第一驅(qū)動裝置 本實用新型 中心位置處 齒輪轉(zhuǎn)動 放置晶片 驅(qū)動中心 同向轉(zhuǎn)動 游星輪 | ||
1.一種雙面拋光機,其特征在于,包括機架、上拋光盤(6)、下拋光盤、中心齒輪、外齒輪和驅(qū)動組件,所述上拋光盤(6)、所述下拋光盤、所述中心齒輪、所述外齒輪分別獨立地設置于所述機架上,所述中心齒輪設置于所述外齒輪的中心位置處,所述中心齒輪與所述外齒輪之間具有容納空間,用于嚙合放置晶片的游星輪,所述容納空間位于所述上拋光盤(6)與所述下拋光盤之間,所述驅(qū)動組件包括:
第一驅(qū)動裝置(7),設置于所述機架上并與所述上拋光盤(6)連接,用于驅(qū)動所述上拋光盤(6)轉(zhuǎn)動;
第二驅(qū)動裝置,設置于所述機架上并與所述下拋光盤連接,用于驅(qū)動所述下拋光盤與所述上拋光盤(6)同向轉(zhuǎn)動;
第三驅(qū)動裝置,設置于所述機架上并與所述中心齒輪連接,用于驅(qū)動所述中心齒輪轉(zhuǎn)動;
第四驅(qū)動裝置,設置于所述機架上并與所述外齒輪連接,用于驅(qū)動所述外齒輪轉(zhuǎn)動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面拋光機,其特征在于,所述第一驅(qū)動裝置(7)、所述第二驅(qū)動裝置、所述第三驅(qū)動裝置和所述第四驅(qū)動裝置的傳動方式均為齒輪傳動或蝸輪蝸桿傳動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙面拋光機,其特征在于,所述傳動方式為斜齒輪傳動。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙面拋光機,其特征在于,所述第一驅(qū)動裝置(7)包括:
懸吊軸(71),設置于所述機架上并與所述上拋光盤(6)連接;
第一電機,與所述懸吊軸(71)電連接,用于控制所述懸吊軸(71)帶動所述上拋光盤(6)轉(zhuǎn)動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的雙面拋光機,其特征在于,所述機架包括:
底座(10),所述上拋光盤(6)、所述下拋光盤、所述中心齒輪和所述外齒輪位于所述底座(10)上方,且所述下拋光盤、所述中心齒輪和所述外齒輪分別與所述底座(10)連接;
橫梁,所述上拋光盤(6)、所述下拋光盤、所述中心齒輪和所述外齒輪分別位于所述橫梁下方,且所述第一驅(qū)動裝置(7)與上拋光盤(6)分別與所述橫梁連接;
多個支柱(9),固定連接在所述底座(10)與所述橫梁之間,且所述支柱(9)位于所述下拋光盤、所述中心齒輪和所述外齒輪的外周并用于支撐所述橫梁,
所述第二驅(qū)動裝置、所述第三驅(qū)動裝置和所述第四驅(qū)動裝置分別獨立地與所述底座(10)、所述橫梁或所述支柱(9)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面拋光機,其特征在于,所述雙面拋光機還包括升降系統(tǒng),所述升降系統(tǒng)與所述第一驅(qū)動裝置(7)電連接,用于控制所述上拋光盤(6)的升降,所述升降系統(tǒng)為液壓系統(tǒng)或滾珠絲桿系統(tǒng)。
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