[實(shí)用新型]鍍膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821393610.2
• 申請日: 2018-08-28
• 公開（公告）號: CN208898982U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐威
• 申請（專利權(quán)）人: 君泰創(chuàng)新(北京)科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 王剛

1.一種鍍膜裝置，其特征在于，包括鍍膜腔室(7)、設(shè)置于所述鍍膜腔室(7)內(nèi)的鍍膜機(jī)構(gòu)(1)、第一屏蔽或遮擋部件(2)、第二屏蔽或遮擋部件(6)、厚度測量傳感器(3)，所述第一屏蔽或遮擋部件(2)沿著所述鍍膜機(jī)構(gòu)(1)的鍍膜方向設(shè)置，所述第二屏蔽或遮擋部件(6)橫向設(shè)置在所述鍍膜腔室(7)的開口處，所述厚度測量傳感器(3)用于檢測所述第一屏蔽或遮擋部件(2)和第二屏蔽或遮擋部件(6)上的膜層(4)的厚度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述厚度測量傳感器(3)設(shè)置于所述第一屏蔽或遮擋部件(2)、第二屏蔽或遮擋部件(6)的邊緣側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述厚度測量傳感器(3)為共焦位移傳感器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述厚度測量傳感器(3)為激光共焦位移傳感器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述厚度測量傳感器(3)設(shè)置于所述第一屏蔽或遮擋部件(2)、第二屏蔽或遮擋部件(6)的朝向所述鍍膜機(jī)構(gòu)(1)的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述厚度測量傳感器(3)的數(shù)量為兩個，其中一個厚度測量傳感器(3)設(shè)置于所述第一屏蔽或遮擋部件(2)、第二屏蔽或遮擋部件(6)的朝向所述鍍膜機(jī)構(gòu)(1)的一側(cè)，另一個厚度測量傳感器(3)設(shè)置于所述第一屏蔽或遮擋部件(2)、第二屏蔽或遮擋部件(6)的背離所述鍍膜機(jī)構(gòu)(1)的一側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述厚度測量傳感器(3)為反射測距傳感器或者共焦位移傳感器。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述厚度測量傳感器(3)為激光測距傳感器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述厚度測量傳感器(3)設(shè)置于所述第一屏蔽或遮擋部件(2)、第二屏蔽或遮擋部件(6)的朝向所述鍍膜機(jī)構(gòu)(1)的一側(cè)，并與所述第一屏蔽或遮擋部件(2)、第二屏蔽或遮擋部件(6)直接接觸。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述厚度測量傳感器(3)為測距探針，所述鍍膜裝置還包括移動機(jī)構(gòu)，所述移動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動所述厚度測量傳感器(3)朝著靠近或者遠(yuǎn)離所述第一屏蔽或遮擋部件(2)、第二屏蔽或遮擋部件(6)的方向進(jìn)行往復(fù)移動，以及驅(qū)動所述厚度測量傳感器(3)在平行于所述第一屏蔽或遮擋部件(2)、第二屏蔽或遮擋部件(6)的平面內(nèi)移動。