[實用新型]防護板組件和物理氣相沉積PVD鍍膜設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821391196.1
• 申請日: 2018-08-27
• 公開（公告）號: CN208949391U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃亞麗
• 申請（專利權(quán)）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京英創(chuàng)嘉友知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11447
• 代理人: 胡婷婷;陳慶超

1.一種防護板組件，用于物理氣相沉積PVD鍍膜設(shè)備，所述PVD鍍膜設(shè)備包括磁控濺射鍍膜腔體(50)，所述防護板組件用于設(shè)置在所述磁控濺射鍍膜腔體(50)中，其特征在于，所述防護板組件包括遮擋所述磁控濺射鍍膜腔體(50)的側(cè)腔壁的側(cè)面遮擋板(1)，該側(cè)面遮擋板(1)的下端部分(11)朝內(nèi)折彎，并且所述側(cè)面遮擋板(1)的下端面(12)與所述側(cè)面遮擋板(1)的至少一個表面之間連續(xù)且平滑過渡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防護板組件，其特征在于，所述下端面(12)構(gòu)造為曲面，該曲面與所述下端部分(11)的內(nèi)表面(13)在連續(xù)處相切，以使得所述曲面與所述內(nèi)表面(13)之間平滑過渡。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防護板組件，其特征在于，所述下端面(12)構(gòu)造為曲面，該曲面與所述下端部分(11)的外表面(14)在連續(xù)處相切，以使得所述曲面與所述外表面(14)之間平滑過渡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防護板組件，其特征在于，所述下端面(12)構(gòu)造為曲面，該曲面與所述下端部分(11)的內(nèi)表面(13)和外表面(14)在連續(xù)處均相切，以使得所述曲面與所述內(nèi)表面(13)和所述外表面(14)之間均平滑過渡。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防護板組件，其特征在于，所述下端面(12)為C形曲面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項所述的防護板組件，其特征在于，所述防護板組件設(shè)置有兩個所述側(cè)面遮擋板(1)，該兩個側(cè)面遮擋板(1)分別遮擋所述磁控濺射鍍膜腔體(50)的兩個相對的所述側(cè)腔壁，且兩個所述側(cè)面遮擋板(1)的下端部分(11)相對折彎。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項所述的防護板組件，其特征在于，所述磁控濺射鍍膜腔體(50)中設(shè)置有并排布置的至少兩個圓筒狀的靶材(6)，所述防護板組件包括隔板(2)，任意相鄰的兩個所述靶材(6)之間均設(shè)置有所述隔板(2)，該隔板(2)的下端部分卷曲，以使得所述隔板(2)的下部端面(21)面朝所述隔板(2)的對應(yīng)的表面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項所述的防護板組件，其特征在于，所述磁控濺射鍍膜腔體(50)中設(shè)置有并排布置的至少兩個圓筒狀的靶材(6)，所述防護板組件包括隔板(2)，任意相鄰的兩個所述靶材(6)之間均設(shè)置有所述隔板(2)，該隔板(2)的下端連接有加強件(3)，該加強件(3)為板狀結(jié)構(gòu)，具有相對的上表面(31)和下表面(32)以及分別對應(yīng)于所述隔板(2)兩側(cè)的兩個相對的端面(33)，所述隔板(2)的下端連接于所述上表面(31)，所述板狀結(jié)構(gòu)的分別對應(yīng)于所述隔板(2)兩側(cè)的兩端分別卷曲，以使得所述端面(33)面朝所述上表面(31)或所述下表面(32)或所述隔板(2)的任一表面。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項所述的防護板組件，其特征在于，所述磁控濺射鍍膜腔體(50)中設(shè)置有并排布置的至少兩個圓筒狀的靶材(6)，所述防護板組件包括隔板(2)，任意相鄰的兩個所述靶材(6)之間均設(shè)置有所述隔板(2)，該隔板(2)的下端連接有加強件(3)，該加強件(3)為板狀結(jié)構(gòu)，具有相對的上表面(31)和下表面(32)以及分別對應(yīng)于所述隔板(2)兩側(cè)的兩個相對的兩個端面(33)，所述隔板(2)的下端連接于所述上表面(31)，所述加強件(3)的兩個所述端面(33)均與所述上表面(31)和所述下表面(32)連續(xù)且平滑過渡。

10.一種物理氣相沉積PVD鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述PVD鍍膜設(shè)備包括權(quán)利要求1-9中任意一項所述的防護板組件。