[實用新型]一種陽極真空鑄靶爐有效
| 申請號： | 201821390280.1 | 申請日： | 2018-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN208825530U | 公開（公告）日： | 2019-05-07 |
| 發明（設計）人： | 王炳;唐天權 | 申請（專利權）人： | 愛克斯瑞真空技術（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | B22D25/02 | 分類號： | B22D25/02;B22D21/02;B22D35/06 |
| 代理公司： | 蘇州中合知識產權代理事務所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 伍兵 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市吳中區越溪街*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靶爐 置入裝置 陽極 加熱電極 加熱裝置 檢測裝置 擴散泵 規管 推桿 本實用新型 對稱設置 內腔連通 生產需求 相應部件 有機械泵 重組技術 主體內腔 電控柜 放氣閥 智能化 內腔 銅棒 支架 機械化 測量 支撐 | ||
1.一種陽極真空鑄靶爐，包括鑄靶爐主體以及支撐鑄靶爐主體的支架，其特征在于，還包括有：
材料置入裝置，所述材料置入裝置對稱設置在鑄靶爐主體的兩端，所述材料置入裝置包括有放氣閥、推桿；
真空生成檢測裝置，所述真空生成檢測裝置包括有機械泵、擴散泵以及若干個電子規管，所述電子規管用于測量鑄靶爐主體內腔的真空度，所述擴散泵安裝在鑄靶爐主體上，并和鑄靶爐主體的內腔連通；
加熱裝置，所述加熱裝置包括有一加熱電極，所述加熱電極設置在鑄靶爐主體的內腔；
冷卻成型裝置，所述冷卻成型裝置包括有一進水口和一出水口，所述進水口、出水口均設置在鑄靶爐主體上；
外部控制裝置，所述外部控制裝置包括一電控柜，所述電控柜通過電纜分別連接所述加熱電極、電子規管、熱電偶、機械泵以及擴散泵。
2.根據權利要求1所述的一種陽極真空鑄靶爐，其特征在于，所述鑄靶爐主體的頂部設有一熱電偶。
3.根據權利要求1所述的一種陽極真空鑄靶爐，其特征在于，所述冷卻成型裝置通過一冷卻腔連接加熱電極。
4.根據權利要求1所述的一種陽極真空鑄靶爐，其特征在于，所述電子規管安裝在一連接管上，所述連接管的一端連接擴散泵，另外一端密封。
5.根據權利要求1所述的一種陽極真空鑄靶爐，其特征在于，所述鑄靶爐主體還連接有一高壓裝置。
6.根據權利要求1所述的一種陽極真空鑄靶爐，其特征在于，所述電控柜上設有一顯示屏。
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