[實用新型]檢測設備

有效

• 申請號: 201821390168.8
• 申請日: 2018-08-28
• 公開（公告）號: CN208969197U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發明（設計）人: 吳歡歡;王靜
• 申請（專利權）人: 蘇州通富超威半導體有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 薛異榮;吳敏

一種檢測設備，包括：XYZ三軸運動模塊；所述XYZ三軸運動模塊包括：基座；位于所述基座上的支架；位于所述基座表面的Y軸自由度執行機構；位于所述支架頂部的X軸自由度執行機構；位于所述X軸自由度執行機構上且沿著Z軸方向連軸安裝的Z軸自由度執行機構；固定于所述Y軸自由度執行機構表面的電性能測試模塊；與所述X軸自由度執行機構固定或與Z軸自由度執行機構相對固定的視覺檢測模塊；與所述Z軸自由度執行機構固定的壓力模塊，所述壓力模塊適于在所述電性能測試模塊檢測探針的電學性能的過程中給探針施加壓力。所述檢測設備提高了對探針的檢測效率和準確度。

技術領域

本實用新型涉及半導體檢測領域，尤其涉及一種檢測設備。

背景技術

探針(pin)是一種連接CPU和主機板之間的電學連接器件。通常探針插在插槽(socket)中，探針的一端與CPU連接，探針的另一端與主機板連接。

在探針使用一段時間后，探針的表面狀態和電學性能均會發生變化。若探針的表面缺陷較多，或探針的電學性能達不到使用要求，則需要更換探針。為了確定探針是否需要更換，就需要對探針的外觀和電學性能進行測試。

然而，現有對探針的外觀和電學性能進行測試的準確度較差，且效率低下。

實用新型內容

本實用新型解決的問題是提供一種檢測設備，以提高對探針的檢測效率和準確度。

為解決上述問題，本實用新型提供一種檢測設備，用于檢測探針，包括：XYZ三軸運動模塊；所述XYZ三軸運動模塊包括：基座；位于所述基座上的支架；位于所述基座表面的Y軸自由度執行機構；位于所述支架頂部的X軸自由度執行機構；位于所述X軸自由度執行機構上且沿著Z軸方向連軸安裝的Z軸自由度執行機構；固定于所述Y軸自由度執行機構表面的電性能測試模塊；與所述X軸自由度執行機構固定或與Z軸自由度執行機構相對固定的視覺檢測模塊；與所述Z軸自由度執行機構固定的壓力模塊，所述壓力模塊適于在所述電性能測試模塊檢測探針的電學性能的過程中給探針施加壓力。

可選的，所述視覺檢測模塊包括CCD相機。

可選的，還包括：插槽，所述插槽中具有若干貫穿所述插槽的探針孔，所述探針孔適于容納所述探針；所述電性能測試模塊為電阻測試模塊；所述電阻測試模塊包括：電阻測試儀、測試適配卡和測試CPU，所述測試適配卡適于置于電阻測試儀表面且與電阻測試儀電學連接，所述測試適配卡還適于與插槽固定并與插槽中探針的一端電學連接；所述測試CPU適于置于所述插槽上并與插槽中探針的另一端電學連接；所述壓力模塊適于在所述電性能測試模塊檢測探針的電學性能的過程中通過所述測試CPU給探針施加壓力。

可選的，所述電性能測試模塊還包括：自動夾具，所述自動夾具適于緊固所述插槽和所述測試適配卡。

可選的，所述壓力模塊包括壓力傳感器；當所述壓力模塊為壓力傳感器時，所述壓力模塊還適于在所述電性能測試模塊檢測探針的電學性能的過程中，檢測所述探針的彈力。

可選的，還包括：工控機；所述工控機適于控制所述X軸自由度執行機構、Y軸自由度執行機構和Z軸自由度執行機構沿各自的軸向移動；所述工控機還適于控制電性能測試模塊、視覺檢測模塊和壓力模塊的工作過程。

可選的，所述壓力模塊適于在所述電性能測試模塊檢測探針的電學性能的過程中給每個探針施加0.245N～0.343N的壓力。

可選的，所述支架包括固定于基座上的第一側桿和第二側桿、以及位于第一側桿頂部和第一側桿頂部之間的連接桿，所述X軸自由度執行機構位于所述連接桿上且可沿連接桿的延伸方向移動。

與現有技術相比，本實用新型的技術方案具有以下優點：