[實(shí)用新型]一種玻璃測(cè)厚裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821386171.2
• 申請(qǐng)日: 2018-08-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208567842U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟月;張輝;王秋海
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京清大天達(dá)光電科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/08
• 分類號(hào): G01B21/08
• 代理公司: 北京挺立專利事務(wù)所(普通合伙) 11265
• 代理人: 葉樹(shù)明

本實(shí)用新型屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域半導(dǎo)體及平板顯示行業(yè),具體公開(kāi)了一種玻璃測(cè)厚裝置，包括：底座、型材柱、氣缸、氣動(dòng)手指、上滑板、支架、高精度接觸式傳感器和接觸頭，所述的型材柱與底座連接，所述的氣缸連接著型材柱，所述的氣動(dòng)手指連接著氣缸，所述的氣動(dòng)手指上安裝有上滑板和下滑板，所述上滑板和下滑板上安裝有支架，所述的支架上連接有高精度接觸式傳感器，所述高精度接觸式傳感器包含有接觸頭，本實(shí)用新型通過(guò)氣缸的垂直運(yùn)動(dòng)和氣動(dòng)手指的徑向運(yùn)動(dòng)使得高精度傳感器與接觸頭能夠更準(zhǔn)確的夾緊玻璃達(dá)到更好的定位，測(cè)量準(zhǔn)確，故障率低，而且本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)為純機(jī)械結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，應(yīng)用廣泛，安裝方便，使用方便。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實(shí)用新型屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域半導(dǎo)體及平板顯示行業(yè)的測(cè)量器材領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用在USC清洗設(shè)備中應(yīng)用的玻璃測(cè)厚裝置。

【背景技術(shù)】

在液晶行業(yè)中，為了提高產(chǎn)品的良率，需要對(duì)玻璃基本進(jìn)行清洗，USC超聲波清洗機(jī)就是專門對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗的設(shè)備。為了提高清洗的效果，需要對(duì)玻璃基板的厚度進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量，現(xiàn)有的測(cè)量?jī)x器大多利用其它玻璃測(cè)量?jī)x器，結(jié)構(gòu)復(fù)雜、測(cè)量工序繁瑣、使用很不方便，故障率高，很難應(yīng)用在液晶行業(yè)玻璃基板的測(cè)量上，因此，如何對(duì)玻璃基板的既簡(jiǎn)單又方便快捷測(cè)量成為需要解決的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

本實(shí)用新型的目的在于解決上述技術(shù)問(wèn)題，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，故障率低的一種玻璃厚度測(cè)量裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：

一種玻璃測(cè)厚裝置，包括：底座、型材柱、氣缸、氣動(dòng)手指、上滑板、支架、高精度接觸式傳感器和接觸頭，所述的型材柱與底座連接，所述的氣缸連接著型材柱，所述的氣動(dòng)手指連接著氣缸，所述的氣動(dòng)手指上安裝有上滑板和下滑板，所述上滑板和下滑板上安裝有支架，所述的支架上連接有高精度接觸式傳感器，所述高精度接觸式傳感器包含有接觸頭。

進(jìn)一步的，所述的型材柱與底座固定連接。

進(jìn)一步的，所述的上滑板和下滑板安裝在氣動(dòng)手指的滑軌上。

進(jìn)一步的，所述的氣動(dòng)手指與上滑板采用螺紋連接，所述的氣動(dòng)手指與和下滑板采用螺紋連接。

進(jìn)一步的，所述的氣缸與型材柱通過(guò)加強(qiáng)筋固定連接。

進(jìn)一步的，所述的氣動(dòng)手指與氣缸通過(guò)連接板連接，所述的氣缸控制氣動(dòng)手指上下垂直移動(dòng)。

進(jìn)一步的，所述的支架加工成法蘭型。

進(jìn)一步的，所述的高精度接觸式傳感器與支架采用間隙配合連接。

本實(shí)用新型的有益效果是：

本實(shí)用新型通過(guò)氣缸的垂直運(yùn)動(dòng)和氣動(dòng)手指的徑向運(yùn)動(dòng)使得高精度傳感器與接觸頭能夠更準(zhǔn)確的夾緊玻璃達(dá)到更好的定位，測(cè)量準(zhǔn)確，故障率低，而且本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)為純機(jī)械結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，應(yīng)用廣泛，安裝方便；使用時(shí)只需將上下滑板上的接觸頭夾緊玻璃基板即可實(shí)現(xiàn)測(cè)量，使用方便。

【附圖說(shuō)明】

此處所說(shuō)明的附圖是用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，但并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定，在附圖中：

圖1是本實(shí)用新型的未夾持玻璃基板的狀態(tài)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的夾持載體狀態(tài)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型支架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型的連接板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本實(shí)用新型的上滑板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本實(shí)用新型的下滑板的結(jié)構(gòu)示意圖；