[實用新型]一種用于測量差壓信號的小型化壓力敏感元件

有效

• 申請號: 201821385469.1
• 申請日: 2018-08-27
• 公開（公告）號: CN208606927U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 王剛;段九勛;梁波
• 申請（專利權）人: 麥克傳感器股份有限公司西安分公司
• 主分類號: G01L9/06
• 分類號: G01L9/06
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

1.一種用于測量差壓信號的小型化壓力敏感元件，其特征在于：包括中心開設有硅油主通道的殼體(1)，殼體(1)在硅油主通道的一端開槽并安裝有絕緣墊片(7)，硅油主通道兩側的殼體(1)上開設有硅油副通道，正對硅油主通道的絕緣墊片(7)上安裝硅壓敏芯片(9)，正對硅油副通道的絕緣墊片(7)上開孔并裝入引線(5)，引線(5)通過絕緣端子(6)固定在硅油副通道內部，引線(5)與硅壓敏芯片(9)通過導線(8)連接；所述殼體(1)的兩端分別為正、負壓腔，在正、負壓腔的端面上設置有用以配合硅油的波紋膜片(2)。

2.根據權利要求1所述用于測量差壓信號的小型化壓力敏感元件，其特征在于：殼體(1)上開設有與硅油主通道以及硅油副通道相貫通的充油孔，在充油孔上安裝銷釘(10)封堵。

3.根據權利要求1所述用于測量差壓信號的小型化壓力敏感元件，其特征在于：所述的殼體(1)對應正、負壓腔在兩端的外周上開槽并分別安裝有O型密封圈(4)。

4.根據權利要求1所述用于測量差壓信號的小型化壓力敏感元件，其特征在于：所述的波紋膜片(2)通過繞外周設置的壓圈(3)與正、負壓腔的端面相固定。

5.根據權利要求4所述用于測量差壓信號的小型化壓力敏感元件，其特征在于：波紋膜片(2)、壓圈(3)與正、負壓腔的端面通過激光焊接固定為一體，波紋膜片(2)去除應力。

6.根據權利要求1所述用于測量差壓信號的小型化壓力敏感元件，其特征在于：所述的絕緣墊片(7)采用陶瓷墊片，絕緣端子(6)采用玻璃絕緣端子，導線(8)采用金絲。

7.根據權利要求1所述用于測量差壓信號的小型化壓力敏感元件，其特征在于：所述的硅油主通道為貫穿殼體(1)兩端的通孔，硅油副通道為開設在殼體(1)上的盲孔。