[實用新型]一種亞納秒綠光激光器

有效

• 申請號: 201821374948.3
• 申請日: 2018-08-24
• 公開（公告）號: CN208461197U
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發明（設計）人: 王延成;吳佳賓;李冬冬;周軍
• 申請（專利權）人: 南京羅默激光科技有限公司
• 主分類號: H01S3/06
• 分類號: H01S3/06;H01S3/0941;H01S3/109;H01S3/115
• 代理公司: 南京中律知識產權代理事務所(普通合伙) 32341
• 代理人: 沈振濤

本實用新型提供的一種亞納秒綠光激光器，包括泵浦源、聚焦耦合系統、激光諧振腔、倍頻晶體；所述聚焦耦合系統包括依次連接的泵浦準直透鏡、泵浦聚焦透鏡和泵浦回光保護鏡；所述激光諧振腔內依次設有端泵后腔鏡、激光晶體、偏振片、λ/波片、電光調Q開關、諧振腔輸出鏡；所述泵浦源、泵浦準直透鏡、泵浦聚焦透鏡和泵浦回光保護鏡、端泵后腔鏡、激光晶體、偏振片、λ/波片、電光調Q開關、諧振腔輸出鏡、倍頻晶體依次設置于激光器的光軸上。該綠光激光器實現了亞納秒級的短沖寬綠光激光輸出，其脈沖寬度為0.ns,且重復頻率在kHz以上，輸出激光穩定，光束質量好；該激光器結構設計簡單緊湊，系統體積小，成本低，利于模塊化生產。

技術領域

本實用新型涉及固體激光技術領域，特別涉及一種亞納秒綠光激光器。

背景技術

近年來，固體激光器得到迅速的發展，綠光激光器越來越受到人們的重視。綠光激光器輸出波長短、加工精度高，因此在陶瓷片、玻璃、PCB板、太陽能電池片等材料的切割、鉆孔等方面有非常廣泛的應用，特別是亞納秒的綠光激光器在激光微加工、激光探測和顯示燈方面有著顯著的應用價值。

由于端面泵浦技術的發展，我們可以獲得高穩定性、高光束質量的1064nm基頻光輸，然后利用KTP、LBO、BBO等倍頻晶體二倍頻得到532nm綠激光。普通的綠光激光器輸出激光的脈沖寬度基本為十幾甚至幾十個納秒，且能量較低，無法實現更短脈沖、更大能量的綠光激光輸出，不能滿足激光加工的需要，因此如何實現更短的綠光激光輸出脈寬成為急需解決的問題。

實用新型內容

技術問題：為了解決現有技術的缺陷，本實用新型提供了一種亞納秒綠光激光器。

技術方案：本實用新型提供的一種亞納秒綠光激光器，包括泵浦源、聚焦耦合系統、激光諧振腔、倍頻晶體；所述聚焦耦合系統包括依次連接的泵浦準直透鏡、泵浦聚焦透鏡和泵浦回光保護鏡；所述激光諧振腔內依次設有端泵后腔鏡、激光晶體、偏振片、λ/波片、電光調Q開關、諧振腔輸出鏡；所述泵浦源、泵浦準直透鏡、泵浦聚焦透鏡和泵浦回光保護鏡、端泵后腔鏡、激光晶體、偏振片、λ/波片、電光調Q開關、諧振腔輸出鏡、倍頻晶體依次設置于激光器的光軸上。

作為改進，所述泵浦源為發光二極管。

作為另一種改進，所述激光晶體為摻釹的釩酸釔晶體。

作為另一種改進，所述端泵后腔鏡一面鍍有808nmAR膜，另一面鍍有1064nmHR膜和808nmHT膜。

作為另一種改進，所述諧振腔輸出鏡在1064nm的透過率為T＝60％。

作為另一種改進，所述偏振片與激光器的光軸成布儒斯特角。

作為另一種改進，所述電光調Q開關為RTP、BBO、LN或DKDP。

作為另一種改進，所述倍頻晶體為LBO。

有益效果：本實用新型提供的綠光激光器實現了亞納秒級的短沖寬綠光激光輸出，其脈沖寬度為0.5ns,且重復頻率在1kHz以上，輸出激光穩定，光束質量好；該激光器結構設計簡單緊湊，系統體積小，成本低，利于模塊化生產，可為激光探測、激光顯示、激光微加工、生物化學、污染監測等行業應用提供了解決方案。

附圖說明

圖1為本實用新型亞納秒綠光激光器的結構示意圖。

具體實施方式

下面對本實用新型亞納秒綠光激光器作出進一步說明。

本實用新型中：

RTP表示：磷酸鈦氧銣晶體；

BBO表示：偏硼酸鋇晶體；

LN表示：鈮酸鋰晶體；

DKDP表示：氛化磷酸二氫鉀晶體；