[實(shí)用新型]電子氣體水汽分離裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821373510.3
• 申請(qǐng)日: 2018-08-24
• 公開（公告）號(hào): CN209085177U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙青松;寧紅鋒;南建輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技（北京）有限公司
• 主分類號(hào): F25J3/06
• 分類號(hào): F25J3/06
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 韓建偉;謝湘寧

本實(shí)用新型提供了一種電子氣體水汽分離裝置，包括：中空外殼和冷凝組件，冷凝組件位于中空外殼內(nèi)，中空外殼的中空部分形成冷凝腔，冷凝組件包括：至少一個(gè)冷凝塊，冷凝塊設(shè)置在冷凝腔內(nèi)，冷凝塊上設(shè)有貫通的、供冷凝劑通過的冷凝通道，且冷凝通道與冷凝腔的供電子氣體通過的部分分隔；至少一個(gè)冷卻翹片，冷卻翹片固定在冷凝塊上。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中的電子氣體中的水汽去除不方便的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種電子氣體水汽分離裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體行業(yè)，在工藝中經(jīng)常會(huì)使用到砷烷等電子氣體，電子氣體一般都是有毒氣體、易燃易爆氣體。電子氣體中的雜質(zhì)去除和提純過程是很大的難題，要求具有能快速高效去除雜質(zhì)，不能引進(jìn)新的雜質(zhì)，提純工藝產(chǎn)生的污染物要盡量少，提純?cè)O(shè)備要求能在線再生，不影響氣體的生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。

目前砷烷等電氣中水分的去除一般都使用分子篩去除，分子篩是微孔形狀的結(jié)構(gòu)。微孔內(nèi)表面積吸附完畢水汽后就不再吸附作用，單位體積分子篩能吸附水汽能力有限。需要建造大容積的分子篩才能滿足連續(xù)生產(chǎn)的需要。分子篩的再生大量的干氮?dú)膺M(jìn)行再生置換水汽，會(huì)產(chǎn)生很多的含毒尾氣，再生過程中需要單獨(dú)配置尾氣處理設(shè)備，再生完畢后需要用砷烷等電子氣體再次對(duì)分子篩內(nèi)的吹掃氮?dú)庠俅沃脫Q，置換也會(huì)產(chǎn)生大量的有毒尾氣，還要浪費(fèi)掉一部分電子氣體。

目前有使用液氮冷阱作為初級(jí)水汽去除裝置，深冷砷烷等電子氣體，使電子氣體中的水蒸氣結(jié)晶為冰晶或霜，沉積到液氮冷阱的內(nèi)部，處理完畢的砷烷等電子氣體再通過分子篩等進(jìn)行純化。但采用液氮冷阱作為砷烷等電子氣體初級(jí)水汽去除裝置有以下問題：

1.要控制好液氮冷阱的溫度要高于-62.50℃，液氮冷阱的溫度低于這個(gè)溫度，就會(huì)有液態(tài)砷烷產(chǎn)生，液態(tài)砷烷和水汽冰晶凝結(jié)在一起，更容易造成液氮冷阱堵塞；

2.液氮冷阱隨著液氮冷阱內(nèi)部冰晶的結(jié)晶越結(jié)越厚，液氮冷阱的冷卻功能越來越差，對(duì)砷烷等電子氣體水汽去除能力越來越差，這就造成對(duì)砷烷等電子氣體水汽去除能力不穩(wěn)定，影響對(duì)砷烷等電子氣體水汽去除的生產(chǎn)質(zhì)量；

3.液氮冷阱內(nèi)部的水汽結(jié)晶是一個(gè)積累的過程，在冷阱的工作過程中，這些冰晶是不能去除的，去除冰晶就要停機(jī)才行，一般的液氮冷阱要設(shè)計(jì)成一用一備的方式，一個(gè)冷阱在工作，一個(gè)冷阱在除冰。這就造成砷烷等電子氣體初級(jí)水汽去除裝置做的比較復(fù)雜和使用過程繁瑣。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種電子氣體水汽分離裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的電子氣體中的水汽去除不方便的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種電子氣體水汽分離裝置，包括：中空外殼和冷凝組件，冷凝組件位于中空外殼內(nèi)，中空外殼的中空部分形成冷凝腔，冷凝組件包括：至少一個(gè)冷凝塊，冷凝塊設(shè)置在冷凝腔內(nèi)，冷凝塊上設(shè)有貫通的、供冷凝劑通過的冷凝通道，且冷凝通道與冷凝腔的供電子氣體通過的部分分隔；至少一個(gè)冷卻翹片，冷卻翹片固定在冷凝塊上。

進(jìn)一步地，冷凝塊具有齒狀結(jié)構(gòu)，且齒狀結(jié)構(gòu)上設(shè)有用于固定冷卻翹片的螺紋孔。

進(jìn)一步地，冷凝塊為多個(gè)，且相鄰兩個(gè)冷凝塊相對(duì)的兩個(gè)側(cè)壁上均設(shè)置有冷卻翹片，優(yōu)選地，其中一個(gè)冷凝塊的冷卻翹片插入另一個(gè)冷凝塊的冷卻翹片形成的間隙中，以使相鄰的兩個(gè)冷凝塊之間形成過流通道。

進(jìn)一步地，冷卻翹片與冷凝塊之間形成30度至60度的夾角，優(yōu)選45度的夾角。

進(jìn)一步地，冷凝組件還包括U形的連接管，冷凝塊上的冷凝通道通過連接管順次連接，以使冷凝劑依次經(jīng)過所有冷凝塊后排出。

進(jìn)一步地，所有連接管中，靠近中空外殼的底部的至少一個(gè)連接管由中空外殼的底部伸出以作為進(jìn)口管，靠近中空外殼的頂部的至少一個(gè)連接管由中空外殼的頂部伸出以作為出口管，冷凝劑由進(jìn)口管通入并經(jīng)冷凝通道后由出口管排出。