[實用新型]一種超純化學品出料系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821370241.5
• 申請日: 2018-08-24
• 公開（公告）號: CN209428118U
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發(fā)明（設計）人: 山世清
• 申請（專利權）人: 江蘇晶睿光電科技有限公司
• 主分類號: B67D7/78
• 分類號: B67D7/78;B67D7/02;B67D7/74;B65D25/00
• 代理公司: 北京一格知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11316
• 代理人: 高利利

本實用新型涉及一種超純化學品出料系統(tǒng)，包括一可移動的供應箱以及設置于供應箱內的貯存罐，在所述供應箱的面板上開設一凹型口，上部形成出料區(qū)，下部形成緩存區(qū)；所述出料區(qū)內設有至少兩個并排設置的出料管，且所述其中至少一出料管上還連通超純水進水管；所述出料管下端的出料區(qū)面板即為成品容器放置板，所述成品容器放置板陣列分布有通孔，且所述緩存區(qū)與貯存罐之間通過管道連通設置。本實用新型的優(yōu)點在于：本實用新型能夠同時供應不同純度的高純化學品且能夠將廢化學品回收利用。

技術領域

本實用新型涉及半導體行業(yè)中高純化學品的輸送，特別涉及一種超純化學品出料系統(tǒng)。

背景技術

在半導體制造工業(yè)中，尤其是硅晶片在制造過程中每個階段的主要擔憂之一是污染物。引入到制造過程中的污染物可能大大改變最終產(chǎn)品特性。因此，為了去除污染，可能會停止和關閉生產(chǎn)線。這會導致：首先，顯著量的已經(jīng)制造的電子設備的不合格，以及其次，它可能會使生產(chǎn)陷于一段時間的停頓。這兩種情況都會轉為電子設備生產(chǎn)工廠收入的大量損失。高純化學品（如：二乙基鋅 DEZ、三甲基鋁 TMA 等）已經(jīng)廣泛地應用于電子器件制造，這就是為什么從電子設備生產(chǎn)過程中的每個初始步驟解決生產(chǎn)線污染問題是重要的。

許多公開出版物涉及化學品和特種氣體的現(xiàn)場純化設備以及供應。例如，目前高純化學品的輸送裝置或系統(tǒng)包括貯存罐、填充緩沖罐和壓送系統(tǒng)，所述壓送系統(tǒng)多采用高純惰性氣體壓送，先通過一路惰性氣體將高純化學品壓送從貯存罐壓送至填充緩沖罐，該路惰性氣體管道上設有過濾器和若干單向閥，再由另一路惰性氣體將填充緩沖罐內的高純化學品壓送到幾十米至上百米之外的使用機臺。但是該種輸送裝置或系統(tǒng)由于一些化學產(chǎn)品在室溫狀態(tài)下有自分解的化學特性，其產(chǎn)生的分解顆粒物會使過濾器出現(xiàn)不同程度的堵塞，而且隨著過濾器使用時間的延長和使用期間的高溫環(huán)境，高純化學品由于自分解作用而產(chǎn)生的顆粒物對過濾器的堵塞會愈發(fā)嚴重，這會導致填充的速度變慢、填充時間間隔延長等問題，嚴重時會導致無法將緩沖罐內的化學品推送到遠處的使用機臺，導致供應中斷現(xiàn)象出現(xiàn)。

針對上述現(xiàn)象，專利CN 104989952 A公開了一種高純化學品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng)，包括貯存罐、緩沖罐和推送系統(tǒng)，所述推送系統(tǒng)包括第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng)，所述第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng)均與輸送總管連通，所述第一推送系統(tǒng)用于將貯存罐內的高純化學品推送至緩沖罐內，此為填充過程；所述第二推送系統(tǒng)用于將緩沖罐內的高純化學品推送至使用機臺，第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng)上分別獨立設置有第一調壓閥和第二調壓閥，所述第二推送系統(tǒng)上還設有壓力傳感器和壓力監(jiān)測計；該發(fā)明高純化學品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng)結構布置合理，成本低，且有效實現(xiàn)了緩沖罐內的填充壓力與供應壓力的獨立穩(wěn)定可調，有效保證了高純化學品的連續(xù)穩(wěn)定供應，但是該輸送系統(tǒng)不能同時滿足不同純度要求的化學品同時供應。

因此，研發(fā)一種能夠同時供應不同純度的高純化學品且保證高純化學品的連續(xù)穩(wěn)定供應的超純化學品供應系統(tǒng)是非常有必要的。

發(fā)明內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種超純化學品出料系統(tǒng)，能夠同時供應不同純度的高純化學品且能夠將廢化學品回收利用。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案為：一種超純化學品出料系統(tǒng)，其創(chuàng)新點在于：包括一可移動的供應箱以及設置于供應箱內的貯存罐，在所述供應箱的面板上開設一凹型口，上部形成出料區(qū)，下部形成緩存區(qū)；所述出料區(qū)內設有至少兩個并排設置的出料管，且所述其中至少一出料管上還連通超純水進水管；所述出料管下端的出料區(qū)面板即為成品容器放置板，所述成品容器放置板陣列分布有通孔，且所述緩存區(qū)與貯存罐之間通過管道連通設置。

進一步地，所述凹型口的外端面鉸接有擋板玻璃，且擋板玻璃與出料區(qū)通過鎖緊機構鎖緊。

本實用新型的優(yōu)點在于：