[實用新型]一種準單晶鑄錠爐下爐體風門傳動機構

有效

• 申請號: 201821368528.4
• 申請日: 2018-08-24
• 公開（公告）號: CN209292515U
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 華焱
• 申請（專利權）人: 常州四杰機械科技有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型屬于單晶爐技術領域，具體涉及一種準單晶鑄錠爐下爐體風門傳動機構。該準單晶鑄錠爐下爐體風門傳動機構，包括下爐底外殼、支撐座和導軌座，所述下爐底外殼內中間部位設有支撐軸套，支撐軸套頂部通過連接臂設有多個導軌座，導軌座上設有導軌，導軌上設有滑動小車，支撐軸套內設有傳動軸，傳動軸位于各導軌的一端設有轉盤，轉盤上對應各導軌上的滑動小車設有拉桿，通過下爐底外殼底部的驅動軸與驅動設備連接帶動傳動軸進行轉動，使傳動軸帶動轉盤通過拉桿傳動滑動小車在導軌上進行移動，從而使各滑動小車上的連接桿帶動對應的風門進行傳動。其有益效果是：結構簡單，使用方便，避免發生卡死現象，給爐子安全帶來了保障。

技術領域

本實用新型屬于單晶爐技術領域，具體涉及一種準單晶鑄錠爐下爐體風門傳動機構。

背景技術

準單晶鑄錠爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,是基于準單晶鑄錠爐的工藝生長無錯位單晶的設備，準單晶（MonoLike）是基于多晶鑄錠的工藝，在長晶時通過部分使用單晶籽晶，獲得外觀和電性能均類似單晶的多晶硅片，這種通過鑄錠的方式形成單晶硅的技術，其功耗只比普通多晶硅多，所生產的單晶硅的質量接近直拉單晶硅，簡單地說，這種技術就是用多晶硅的成本，生產單晶硅的技術，當下量產的準單晶技術大部分為有籽晶鑄錠，這種技術先把籽晶、硅料摻雜元素放置在坩堝中，籽晶一般位于坩堝底部，再加熱融化硅料，并保持籽晶不被完全融掉，最后控制降溫，調節固液相的溫度梯度，確保單晶從籽晶位置開始生長，這種技術的難點在于確保在熔化硅料階段，籽晶不被完全融化，還有控制好溫度梯度的分布，這個是提高晶體生長速度和晶體質量的關鍵，為了滿足準單晶對于溫度梯度的工藝要求，需要在爐內達到1450攝氏度的情況下打開風門，來進行逐漸降溫的過程，且溫度分布合適的熱場，不僅能保證單晶生長順利，而且品質較高；傳統的設計一直無法解決在高溫下順利的打開和關閉風門，嚴重時還有卡死現象，給爐子安全帶來極大的隱患。

實用新型內容

本實用新型為了彌補現有技術的缺陷，提供了一種準單晶鑄錠爐下爐體風門傳動機構。

本實用新型是通過如下技術方案實現的：

一種準單晶鑄錠爐下爐體風門傳動機構，包括下爐底外殼、支撐座和導軌座，所述下爐底外殼內中間部位設有支撐軸套，支撐軸套頂部通過連接臂設有多個導軌座，導軌座上設有導軌，導軌上設有滑動小車，支撐軸套內設有傳動軸，傳動軸位于各導軌的一端設有轉盤，轉盤上對應各導軌上的滑動小車設有拉桿，通過下爐底外殼底部的驅動軸與驅動設備連接帶動傳動軸進行轉動，使傳動軸帶動轉盤通過拉桿傳動滑動小車在導軌上進行移動，從而使各滑動小車上的連接桿帶動對應的風門進行傳動。

進一步，所述支撐軸套頂部通過連接臂分別設有四條導軌座，四條導軌座成十字型分布，轉盤的外部輪廓為十字型，轉盤位于十字的各端部分別通過拉桿與滑動小車連接。

進一步，所述滑動小車底部設有兩排滑輪，導軌座上的導軌位于兩排滑輪之間，通過各滑輪與導軌配合實現滑動小車滑動，滑輪與導軌之間的間隙為0.5-1mm。

進一步，所述滑輪與導軌均為鎢合金鋼材料，導軌座采用經過兩次滲氮熱處理的耐高溫不銹鋼。

進一步，所述拉桿與滑動小車和轉盤均通過萬向轉軸連接。

本實用新型的有益效果是：結構簡單，使用方便，導軌座采用耐高溫不銹鋼進行二次滲氮熱處理工藝，保證在高溫條件下能夠達到設計的要求，再配合鎢合金鋼導軌使滑動小車能夠平穩的按設計要求滑動，且滑輪與導軌之間的間隙設計，滿足導軌與滑輪膨脹系數的要求，避免發生卡死現象，給爐子安全帶來了保障。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型作進一步的說明。

附圖1為本實用新型的結構示意圖；

附圖2為本實用新型的俯視圖；