[實用新型]分流裝置和蒸氣鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201821365984.3
• 申請日: 2018-08-23
• 公開（公告）號: CN208898978U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 潘登;陳凡;孫紅霞
• 申請（專利權）人: 米亞索樂裝備集成（福建）有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 李莎

1.一種分流裝置，其特征在于，包括分流機構(30)和管道機構(40)；所述分流機構(30)包括分流主體(32)和分流閥芯(33)，所述分流閥芯(33)能夠插入所述分流主體(32)中并能相對所述分流主體(32)往復運動；所述分流主體(32)設置有用于分別連接所述管道機構(40)的兩個支路的第一分流孔(321)和第二分流孔(322)，所述分流閥芯(33)設置有調節孔(331)；所述分流閥芯(33)插入所述分流主體(32)后，所述調節孔(331)與所述第一分流孔(321)和第二分流孔(322)相對，且所述分流閥芯(33)相對于所述分流主體(32)處于不同位置時，所述調節孔(331)與所述第一分流孔(321)和第二分流孔(322)的重疊面積不同。

2.根據權利要求1所述的分流裝置，其特征在于，所述第一分流孔(321)和第二分流孔(322)并列設置，所述調節孔(331)與所述第一分流孔(321)和第二分流孔(322)正對時，所述調節孔(331)能夠同時覆蓋所述第一分流孔(321)和第二分流孔(322)。

3.根據權利要求2所述的分流裝置，其特征在于，所述調節孔(331)的截面形狀為矩形，所述第一分流孔(321)和第二分流孔(322)的截面形狀均為正方形。

4.根據權利要求1所述的分流裝置，其特征在于，所述分流閥芯(33)的數量為至少兩個。

5.根據權利要求1所述的分流裝置，其特征在于，所述管道機構(40)包括多個層級；每個層級的管道均在上一層級的管道的基礎上增加一倍的支路。

6.根據權利要求5所述的分流裝置，其特征在于，每個層級的管道均采用人字形形式擴充。

7.一種蒸氣鍍膜裝置，其特征在于，包括蒸氣源機構(10)、調節閥機構(20)，以及如權利要求1-6任一項所述的分流裝置；

所述蒸氣源機構(10)，用于生成蒸氣流；

所述調節閥機構(20)，用于調節所述蒸氣流的總流量大小；

所述分流機構(30)，用于調節蒸氣流流向所述管道機構(40)的兩個支路的流量大小；

所述管道機構(40)，用于將分流后的蒸氣流導向鍍膜腔室。

8.根據權利要求7所述的蒸氣鍍膜裝置，其特征在于，所述調節閥機構(20)包括調節閥(22)和第一馬達；所述蒸氣鍍膜裝置還包括控制機構，所述控制機構用于通過所述第一馬達控制所述調節閥(22)的啟閉。

9.根據權利要求8所述的蒸氣鍍膜裝置，其特征在于，所述分流機構(30)還包括第二馬達；所述控制機構通過所述第二馬達控制所述分流閥芯(33)的往復運動。

10.根據權利要求7所述的蒸氣鍍膜裝置，其特征在于，還包括加熱機構，用于對所述蒸氣源機構(10)、所述調節閥機構(20)、所述分流機構(30)和/或所述管道機構(40)的溫度進行調節。