[實用新型]一種樹脂清洗設備

有效

• 申請號: 201821365724.6
• 申請日: 2018-08-23
• 公開（公告）號: CN208879206U
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 駱家栓
• 申請（專利權）人: 昆山欣谷微電子材料有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04;B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種樹脂清洗設備，包括第一樹脂清洗柱（1）、第二樹脂清洗

柱（2）和第三樹脂清洗柱（3），其特征在于：所述第一樹脂清

洗柱（1）、第二樹脂清洗柱（2）和第三樹脂清洗柱（3）頂部

設有輸送口（11）、純水輸送口（12）和材料輸送口（13），上

部外側表面設有樹脂輸送口（14），下部外側表面設有樹脂出口

（15），底部設有排泄口（16），超純水管道（7）從第三樹脂清

洗柱（3）頂部延伸至第一樹脂清洗柱（1）頂部，并繞其外側

表面至第三樹脂清洗柱（3）底部，所述超純水管道（7）端部

設有超純水輸送口（71），所述第一樹脂清洗柱（1）、第二樹脂

清洗柱（2）和第三樹脂清洗柱（3）兩端對稱設有管道（72），

所述上部管道（72）與超純水管道（7）連接，廢液排放管道（8）

一端與第一樹脂清洗柱（1）、第二樹脂清洗柱（2）的上部管道

（72）和第三樹脂清洗柱（3）的輸送口（11）連接，另一端設

有廢液排放口（81），所述下部管道（72）穿過下部超純水管道

（7）與下部超純水管道（7）和廢液排放管道（8）連接，并設

有閥門（721），鹽酸罐（4）通過鹽酸管道（41）與第三樹脂清

洗柱（3）的材料輸送口（13）連接，氫氧化鈉罐（5）和碳酸

氫銨罐（6）通過氫氧化鈉管道（51）和碳酸氫銨管道（61）與

第一樹脂清洗柱（1）、第二樹脂清洗柱（2）上的材料輸送口（13）、

輸送口（11）連接，所述鹽酸管道（41）、氫氧化鈉管道（51）

和碳酸氫銨管道（61）上設有離心泵（411）。