[實用新型]減少彩色濾光片制造廠內防玻璃基板破片的裝置有效
| 申請號: | 201821358737.0 | 申請日: | 2018-08-22 |
| 公開(公告)號: | CN208921997U | 公開(公告)日: | 2019-05-31 |
| 發明(設計)人: | 張偉偉;彭建中;李亞明;吳云桂 | 申請(專利權)人: | 南京中電熊貓液晶材料科技有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/13 | 分類號: | G02F1/13 |
| 代理公司: | 南京君陶專利商標代理有限公司 32215 | 代理人: | 沈根水 |
| 地址: | 210033 江蘇省南*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 夾具 內框 特氟龍 破片 吸盤 玻璃基板破片 彩色濾光片 摩擦力增大 鍍膜基板 鍍膜夾具 固定基板 基板鍍膜 發生率 膠帶 基板 搬送機器人 本實用新型 機器人手臂 雙滾輪結構 玻璃 玻璃基板 基板位置 膠帶粘貼 控制腔體 真空吸附 擠壓力 雙滾輪 顯影機 月牙形 滾輪 減小 平版 粘貼 清洗 改造 | ||
本實用新型涉及一種減少彩色濾光片制造廠內防玻璃基板破片的裝置,包括鍍膜夾具,固定基板上下雙滾輪結構,機器人手臂吸盤;鍍膜夾具包括玻璃內框、特氟龍膠帶和基板鍍膜夾具,所述玻璃內框通過特氟龍膠帶粘貼在基板鍍膜夾具上。優點:1)鍍膜基板夾具的內框粘貼特氟龍膠帶,玻璃基板與鍍膜基板夾具內框的摩擦力增大,便于分離,控制腔體破片的發生率。2)調整清洗顯影機的固定基板上下雙滾輪間隙,基板通過時平穩,受滾輪擠壓力減小,降低邊緣月牙形破片發生率。3)搬送機器人吸盤采用O型圈,與基板摩擦力增大,運動中基板位置精度不受影響,不進行真空吸附。4)基本通用于所有平版制造廠,改造實施前實施后破片數減少60%,經濟效益明顯。
技術領域
本實用新型是一種減少彩色濾光片制造廠內防玻璃基板破片的裝置,屬于平板顯示設備技術領域。
背景技術
彩色濾光片制作,是在厚度為0.4-0.7mm、大小約為1800mm*1500mm的玻璃基板上進行清洗,光刻,鍍膜等工藝制作,最后制作成為液晶屏幕;包括如下流程:
素玻璃基板拆包投入產線→基板外觀檢查→黑色邊框光刻工藝制作→RGB光刻工藝制作→鍍鎳工藝制作→Photo Spacer光刻工藝制作→最終檢查→成品捆包。
在搬送,制作過程中,基板的震動,碰撞,擠壓,真空,加熱,清洗經常造成基板的破片;破片的損耗在彩色濾光片制造廠內品質良率中占很大的一部分;各廠對破片的管控尤為重視。
實際生產中,有以下三項最為突出的破片發生率原因:
1、鍍膜夾具:基板濺鍍作業完成后進行破真空時,由于腔體與外界氣壓相差很大,極易發生破片;作業完成,機器人從夾具上取玻璃時,由于玻璃和基板和夾具內框靜電吸附在一起,吸力較大,機器人取片時邊角吸附力過大而導致邊角破片;
2、清洗顯影機固定基板:清洗顯影機固定基板上下滾輪的間距難以精確調整,過松不容易壓住玻璃基板,容易發生抖動;過緊玻璃基板容易受到擠壓,邊緣受力導致破片;
3、搬送機器人手臂吸盤:吸盤經過一段時間的使用,受到光阻升華物的影響,會有一定的黏性,破真空時不能完全破真空,放置玻璃基板時基板的位置會帶偏,導致基板破片。
實用新型內容
本實用新型提出的是一種減少彩色濾光片制造廠內防玻璃基板破片的裝置,其目的在于針對現有彩色濾光片制造工藝中鍍膜夾具、清洗顯影機固定基板和機器人搬送這些流程中玻璃基板較容易破片的缺陷,通過改進鍍膜夾具、固定基板上下雙滾輪結構和機器人手臂吸盤的結構,提出了一種減少彩色濾光片制造廠內防玻璃基板破片的裝置。
本實用新型的技術解決方案:減少彩色濾光片制造廠內防玻璃基板破片的裝置,包括鍍膜夾具;固定基板上下雙滾輪結構;機器人手臂吸盤;
所述鍍膜夾具包括玻璃內框、特氟龍膠帶和基板鍍膜夾具,所述玻璃內框通過特氟龍膠帶粘貼在基板鍍膜夾具上。
所述固定基板上下雙滾輪結構包括上滾輪、改造墊片、固定螺絲、下滾輪和玻璃基板,其中,所述上滾輪安裝在上滾輪基座上,下滾輪安裝在下滾輪基座上,上滾輪基座和下滾輪基座通過固定螺絲連接,改造墊片安裝于上滾輪基座和下滾輪基座連接處,增大上、下雙滾輪間的間隙。
所述機器人手臂吸盤包括機器人手臂、吸盤和玻璃基板,其中,所述機器人手臂上設有四齒叉,四齒叉上安裝有多個吸盤,吸盤吸附玻璃基板進行搬運,所述吸盤為塑膠O型圈。
本實用新型的有益效果:
1)鍍膜基板夾具的內框粘貼特氟龍膠帶,使玻璃基板與鍍膜基板夾具內框的摩擦力增大,便于分離,從而有效的控制了腔體破片的發生率。
2)調整清洗顯影機的固定基板上下雙滾輪間隙,使基板通過時平穩,受滾輪擠壓力減小,降低了邊緣月牙形破片的發生率。
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