[實用新型]一種寬波長域的高效減反射膜及光學系統

有效

• 申請號: 201821357026.1
• 申請日: 2018-08-22
• 公開（公告）號: CN208752231U
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 艾曼靈;金波;李冰霞;吳江波;顧培夫
• 申請（專利權）人: 杭州科汀光學技術有限公司
• 主分類號: G02B1/115
• 分類號: G02B1/115
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 陳升華

1.一種寬波長域的高效減反射膜，包括基底以及設置在所述基底上的多層膜系，其特征在于，所述的多層膜系由依次設置在所述基底上的色散補償膜堆、導納匹配膜堆和增透膜堆構成；

所述的基底為光學玻璃或光學塑料；

所述的色散補償膜堆由次低折射率的二氧化硅膜和高折射率的五氧化二鉭膜或二氧化鈦膜交替組成；

所述的導納匹配膜堆由低折射率的氟化鎂膜和高折射率的五氧化二鉭膜或二氧化鈦膜交替組成；

所述的增透膜堆依次由中間折射率的三氧化二鋁膜、高折射率的五氧化二鉭膜或二氧化鈦膜以及低折射率的氟化鎂膜組成。

2.根據權利要求1所述的寬波長域的高效減反射膜，其特征在于，所述的多層膜系中的膜層總數為16～23層。

3.根據權利要求1所述的寬波長域的高效減反射膜，其特征在于，所述的多層膜系中的膜層總數為20層。

4.根據權利要求3所述的寬波長域的高效減反射膜，其特征在于，所述的色散補償膜堆的膜層數為8層，由基底向外，第1、3、5、7層為高折射率的五氧化二鉭膜，第2、4、6、8層為次低折射率的二氧化硅膜，第1至第8層的厚度依次為：9.18，64.76，14.92，160.28，4.08，69.34，23.25，206.70，單位為nm。

5.根據權利要求4所述的寬波長域的高效減反射膜，其特征在于，所述的導納匹配膜堆的膜層數為9層，由色散補償膜堆向外，第9、11、13、15、17層為高折射率的五氧化二鉭膜，第10、12、14、16層為低折射率的氟化鎂膜，第9至第17層的厚度依次為：72.63，29.36，17.50，121.24，69.04，9.48，37.43，114.92，19.87，單位為nm。

6.根據權利要求5所述的寬波長域的高效減反射膜，其特征在于，所述的增透膜堆的膜層數為3層，由導納匹配膜堆向外，第18至20層依次是三氧化二鋁膜、五氧化二鉭膜和氟化鎂膜，其厚度依次為：34.81，61.36，96.74，單位為nm。

7.一種投影顯示光學系統，其特征在于，采用權利要求1～6任一項所述的寬波長域的高效減反射膜。

8.一種拍攝成像光學系統，其特征在于，采用權利要求1～6任一項所述的寬波長域的高效減反射膜。