[實(shí)用新型]一種靶材自動(dòng)化加工檢測(cè)生產(chǎn)線

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821355809.6
• 申請(qǐng)日: 2018-08-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208680539U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 溫志慶;王瑩;黃俊澤;張寶;張鼎;尹穆楠;黃超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波市智能制造產(chǎn)業(yè)研究院
• 主分類號(hào): B23B3/36
• 分類號(hào): B23B3/36;B23B15/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型涉及材料加工檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種靶材自動(dòng)化加工檢測(cè)生產(chǎn)線，包括取料區(qū)、加工區(qū)、離線檢測(cè)區(qū)、成品區(qū)、機(jī)器人機(jī)械手；取料區(qū)、離線檢測(cè)區(qū)、成品區(qū)與加工區(qū)呈“U”型分布；取料區(qū)、離線檢測(cè)區(qū)與成品區(qū)依次排列，位于同一側(cè)；機(jī)器人機(jī)械手位于“U”型中心處；機(jī)器人機(jī)械手末端設(shè)有視覺(jué)檢測(cè)裝置。本實(shí)用新型工序流程分布設(shè)置合理，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)的取件、加工、檢測(cè)和出貨，解決了靶材表面的檢測(cè)問(wèn)題，省去了轉(zhuǎn)運(yùn)至質(zhì)檢部門進(jìn)行檢測(cè)的過(guò)程，大大提高了生產(chǎn)效率，節(jié)約了人力成本，并且有效避免了人工主觀造成的漏檢和誤檢，從而提高了企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及材料加工檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種靶材自動(dòng)化加工檢測(cè)生產(chǎn)線。

背景技術(shù)

隨著社會(huì)進(jìn)入信息時(shí)代，人類生產(chǎn)生活對(duì)各類半導(dǎo)體芯片、液晶面板等產(chǎn)品的需求飛速增加，而靶材是加工制造這些產(chǎn)品不可或缺的關(guān)鍵材料之一。相較于傳統(tǒng)材料行業(yè)，靶材有著極高的要求，例如：純度要求達(dá)到99.9％～99.999％，合格的光滑表面具有超高精細(xì)度、平面度、均勻性以及類似鏡面的反光特性等。因此加工靶材表面時(shí)，需要非常高精度的數(shù)控車床和刀具，配合工人熟練地車床操作技能以及豐富的質(zhì)量檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)。

目前，靶材的加工主要由人工負(fù)責(zé)的數(shù)控車床來(lái)完成，工人通過(guò)粗加工工序?qū)胁牧现瞥砂氤善罚缓筮M(jìn)行精加工工序。加工完成后，由工人進(jìn)行肉眼初步檢測(cè)，若有明顯的缺陷，如明顯的刀紋和劃痕等，即刻返工再用車床加工一次，直至工人初檢通過(guò)為止。之后，工人將加工完的靶材工件取下，裝在保護(hù)盒內(nèi)，轉(zhuǎn)運(yùn)至專門的質(zhì)檢部門，專業(yè)的質(zhì)檢人員需在特定的環(huán)境下進(jìn)行檢測(cè)，若鑒定不合格就需要進(jìn)一步加工。這種做法增加了轉(zhuǎn)運(yùn)時(shí)間和人力成本，大大制約了生產(chǎn)效率，而且僅靠肉眼觀測(cè)判斷，沒(méi)有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)和尺度，容易造成漏檢和誤檢，不利于企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益的提高。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的是提供一種自動(dòng)化程度高、各個(gè)工序可以脫離人為干預(yù)并能夠在線檢測(cè)的靶材自動(dòng)化加工檢測(cè)生產(chǎn)線。

為實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案如下：

一種靶材自動(dòng)化加工檢測(cè)生產(chǎn)線，包括取料區(qū)、加工區(qū)、離線檢測(cè)區(qū)、成品區(qū)、機(jī)器人機(jī)械手；取料區(qū)、離線檢測(cè)區(qū)、成品區(qū)與加工區(qū)呈“U”型分布；取料區(qū)、離線檢測(cè)區(qū)與成品區(qū)依次排列，位于同一側(cè)；機(jī)器人機(jī)械手位于“U”型中心處；機(jī)器人機(jī)械手末端設(shè)有視覺(jué)檢測(cè)裝置。

取料區(qū)用于放置待加工的靶材；加工區(qū)用于將待加工的靶材加工成符合要求的成品；離線檢測(cè)區(qū)用于對(duì)靶材進(jìn)行初次檢測(cè)；成品區(qū)用于放置符合要求的成品靶材；機(jī)器人機(jī)械手用于對(duì)靶材進(jìn)行轉(zhuǎn)移，同時(shí)，機(jī)器人機(jī)械手末端還設(shè)置有視覺(jué)檢測(cè)裝置，完成靶材的在線檢測(cè)。通過(guò)采集清晰的靶材表面圖像，并對(duì)靶材表面圖像進(jìn)行分析，判斷靶材表面是否合格，合格靶材通過(guò)機(jī)器人機(jī)械手放置于成品區(qū)，不合格靶材則在精加工車床內(nèi)再一次進(jìn)行加工，直至合格為止。本實(shí)用新型工序流程分布設(shè)置合理，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)的取件、加工、檢測(cè)和出貨，解決了靶材表面的檢測(cè)問(wèn)題，省去了轉(zhuǎn)運(yùn)至質(zhì)檢部門進(jìn)行檢測(cè)的過(guò)程，大大提高了生產(chǎn)效率，節(jié)約了人力成本，并且有效避免了人工主觀造成的漏檢和誤檢，從而提高了企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。

作為優(yōu)選，加工區(qū)包括粗加工中心和精加工中心；粗加工中心包括一個(gè)或一個(gè)以上的粗加工車床，精加工中心包括一個(gè)或一個(gè)以上的精加工車床。設(shè)置多臺(tái)粗加工車床和多臺(tái)精加工車床同時(shí)運(yùn)作，改變了傳統(tǒng)“一床一工”的生產(chǎn)模式，大大提升了生產(chǎn)效率。

作為優(yōu)選，粗加工車床及所述精加工車床上均設(shè)有光電信號(hào)發(fā)生器。當(dāng)粗加工車床或精加工車床完成加工工序時(shí)，即發(fā)出光電信號(hào)，通知機(jī)器人機(jī)械手前來(lái)取件，進(jìn)行下一工序，這降低了人工勞動(dòng)強(qiáng)度，縮短了生產(chǎn)時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。

作為優(yōu)選，機(jī)器人機(jī)械手上設(shè)有光電信號(hào)接收器，用于接收粗加工車床或精加工車床發(fā)出的光電信號(hào)。

作為優(yōu)選，“U”型中心處設(shè)有地軌，機(jī)器人機(jī)械手安裝于所述地軌上，并且可以在地軌上沿導(dǎo)軌移動(dòng)。