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[實用新型]電流體動力學噴印圖案三維柔性結構的制備設備有效

專利信息
申請號: 201821346376.8 申請日: 2018-08-21
公開(公告)號: CN208993305U 公開(公告)日: 2019-06-18
發明(設計)人: 李鵬;張禮兵;吳婷;馮孝為;陳建洲;張震舟 申請(專利權)人: 嘉興學院
主分類號: B41J3/407 分類號: B41J3/407;B41J3/44
代理公司: 北京翔甌知識產權代理有限公司 11480 代理人: 康云曉
地址: 314001 浙江省嘉興市*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 柔性基板 聚焦離子束設備 夾持機構 噴印 電流體動力學 底板 固定裝置 噴印平臺 柔性結構 制備設備 夾持 三維 本實用新型 聚焦離子束 圖案 承載平臺 垂直狀態 激光移動 噴印模塊 平面圖案 三維結構 自由狀態 固定端 可掃描 自由端 上端 濺射 刻蝕 正對 離子 背面 變形 兩邊
【權利要求書】:

1.一種電流體動力學噴印圖案三維柔性結構的制備設備,其特征在于:其包括機架,所述機架上設有承載平臺;

噴印模塊,所述噴印模塊通過水平橫梁設置在承載平臺上方,且其設有用于噴印的噴印機構,用于噴印到柔性基板上形成噴印圖案;

噴印平臺,所述噴印平臺可X向運動設置在承載平臺上;

聚焦離子束設備固定裝置,設置在噴印平臺上端,且所述聚焦離子束設備固定裝置包括設置在噴印平臺上的底板,所述底板相鄰兩邊分別設有用于夾持柔性基板的夾持機構和用于使得聚焦離子束可掃描基板后側的移動機構。

2.根據權利要求1所述的電流體動力學噴印圖案三維柔性結構的制備設備,其特征在于:所述噴印模塊包括固定底座以及沿垂直方向設置的噴印機構,所述噴印機構包括固定座、設置在固定座上可拆卸的注射器,在所述固定座的上端設置可沿垂直方向滑移的操作機構,所述注射器的柱塞部件與所述操作機構聯動配合。

3.根據權利要求1所述的電流體動力學噴印圖案三維柔性結構的制備設備,其特征在于:所述夾持機構包括設置在底板一側的第一導軌座、與第一導軌座構成滑移配合的第一滑塊以及設置在第一滑塊上的夾持組件,所述夾持組件可Z向運動設置在所述第一滑塊上。

4.根據權利要求3所述的電流體動力學噴印圖案三維柔性結構的制備設備,其特征在于:所述夾持組件包括沿Z軸方向設置在第一滑塊上的移動軸、與移動軸構成滑移配合的移動夾具以及用于驅動移動夾具沿Z軸方向運動的絲桿傳動機構。

5.根據權利要求1所述的電流體動力學噴印圖案三維柔性結構的制備設備,其特征在于:所述移動機構包括設置在底板一側的第二導軌座、與第二導軌座構成滑移配合的第二滑塊以及設置在第二滑塊上的聚焦離子束設備夾持組件,所述聚焦離子束設備夾持組件可Z向運動設置在所述第二滑塊上。

6.根據權利要求1所述的電流體動力學噴印圖案三維柔性結構的制備設備,其特征在于:所述聚焦離子束設備夾持組件包括沿Z軸方向設置在第二滑塊上的滑移架、與滑移架構成滑移配合的夾持件以及用于驅動夾持件沿Z軸方向運動的絲桿傳動機構。

7.根據權利要求1或2或3或4或5或6所述的電流體動力學噴印圖案三維柔性結構的制備設備,其特征在于:所述底板與噴印平臺之間設有加熱板。

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