[實用新型]真空室門板推進裝置的傳動組件

有效

• 申請號: 201821344461.0
• 申請日: 2018-08-21
• 公開（公告）號: CN209228240U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發明（設計）人: 章新良;彭為報;楊陸晗;孫嵩泉
• 申請（專利權）人: 普樂新能源（蚌埠）有限公司
• 主分類號: E05F15/00
• 分類號: E05F15/00
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102
• 代理人: 張建宏

真空室門板推進裝置的傳動組件，包括門板、驅動裝置，驅動裝置上設有安裝板，還包括第一圓筒、第二圓筒、銷桿、球面軸承、第一螺母；第一螺母、球面軸承左右布置，第一圓柱從右至左穿過球面軸承內圈與第一螺母旋接，球面軸承套接于第二圓柱的周向外側，球面軸承內圈左側與第一螺母右側相抵靠，球面軸承內圈右側與第三圓柱左側相抵靠，球面軸承外圈設于第一凹進內，第一圓柱左側與第一圓筒左側之間留有一定距離；第一圓筒左側與門板連接，第二圓筒右側與安裝板連接，第三圓柱右部設于第二圓筒內腔中，第三圓柱右側與第二圓筒內腔的右側之間留有距離。其能夠在推進門板閉合時自動調整門板角度使其與路口法蘭緊密貼合。

技術領域

本實用新型涉及真空室門板推進裝置的傳動組件。

背景技術

爐管LPCVD硅片放在石英舟上，通過傳動裝置將石英舟傳送到真空室爐體內，然后抽真空進行后續工藝，由于初始精度及長期使用變形，導致門板在閉合時和爐口法蘭會有較大縫隙，現有的門板推進裝置和門板之間為固定連接，門板和爐口法蘭有較大縫隙時，現有裝置就無法完成在自動化條件下完成抽真空，影響后續的加工，現有手段是通過人工調整，嚴重影響了生產效率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種真空室門板推進裝置的傳動組件，其能夠在推進門板閉合時自動調整門板角度使其與路口法蘭緊密貼合。

為解決上述技術問題本實用新型提供了真空室門板推進裝置的傳動組件，包括豎直布置的門板、驅動裝置，所述的驅動裝置上設有豎直布置的安裝板，門板與安裝板左右間隔布置且門板和安裝板的法線方向均為左右走向，還包括第一圓筒、第二圓筒、銷桿、球面軸承、第一螺母；

第一圓筒、第二圓筒、銷桿、球面軸承、第一螺母共軸線且軸線方向為左右走向；

第一圓筒右側敞口，第一圓筒內腔右側周向設有環形的第一凹進，第一圓筒右側還設有一個擋圈，擋圈與第一圓筒共軸線且擋圈內徑小于第一凹進的直徑；

第二圓筒左側敞口，第二圓筒內徑小于擋圈內徑；

銷桿由從左至右直徑依次增大的第一圓柱、第二圓柱、第三圓柱同軸連接而成，第一圓柱周向外側設有與第一螺母相匹配的外螺紋，第三圓柱的直徑與第二圓筒內徑相同，第三圓柱軸向長度大于第二圓筒軸向深度；

球面軸承包括共軸線的外圈、內圈，內圈軸向兩端均超出外圈軸向兩端一定距離，球面軸承的外圈的直徑、軸向長度與第一凹進的直徑、軸向長度對應相等，球面軸承內圈的內徑、軸向長度與第二圓柱直徑、軸向長度對應相等；

第一螺母、球面軸承左右布置，第一圓柱從右至左穿過球面軸承內圈與第一螺母旋接，球面軸承套接于第二圓柱的周向外側，球面軸承內圈左側與第一螺母右側相抵靠，球面軸承內圈右側與第三圓柱左側相抵靠，球面軸承外圈設于第一凹進內，第一圓柱左側與第一圓筒左側之間留有一定距離；

第一圓筒左側與門板連接，第二圓筒右側與安裝板連接，第三圓柱右部設于第二圓筒內腔中，第三圓柱右側與第二圓筒內腔的右側之間留有距離。

為簡單說明問題起見，以下對本實用新型所述的真空室門板推進裝置的傳動組件均簡稱為本組件。

本組件的工作原理：驅動裝置驅動安裝板帶動第二圓筒向左運動，第二圓筒內腔的右側與第三圓柱左側接觸后通過第一圓筒推動門板向左運動與爐口法蘭接觸，然后驅動裝置繼續向左推動安裝板，在球面軸承的作用下第一圓筒帶動門板相對于銷桿發生偏轉，進而與爐口法蘭緊密貼合。

本組件的優點：本組件在推進門板閉合時通過球面軸承自動調整門板角度使其與路口法蘭緊密貼合，無需人工調整即可進行抽真空操作，有效提高了生產效率。

為達到本組件更好的使用效果，其優選方案如下：