[實(shí)用新型]一種適用于MEMS慣性傳感器封裝的陶瓷外殼有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821344121.8 | 申請日： | 2018-08-21 |
| 公開（公告）號： | CN209507577U | 公開（公告）日： | 2019-10-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 閆桂珍;林龍濤;趙前程;閆俊杰;楊俊飛 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京微元時代科技有限公司 |
| 主分類號： | B81B7/00 | 分類號： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100080 北京市海淀區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 封裝 陶瓷外殼 陶瓷管座 平行 產(chǎn)品集成度 慣性傳感器 金屬蓋板 金屬焊盤 內(nèi)部焊盤 內(nèi)部走線 陶瓷材料 外部引腳 焊機(jī) 體積小 表頭 常壓 封焊 引腳 體內(nèi) 開發(fā) | ||
1.一種適用于MEMS慣性傳感器封裝的陶瓷外殼，其特征在于：包括可伐金屬蓋板(3)，和帶引腳的陶瓷管座，陶瓷管座頂部設(shè)有金屬封口環(huán)(1)，所述可伐金屬蓋板(3)通過所述金屬封口環(huán)(1)將所述陶瓷外殼上端的開口封閉，金屬封口環(huán)(1)燒結(jié)在陶瓷管座側(cè)壁(2)上，陶瓷管座側(cè)壁(2)固定在下方的帶有金屬埋線的陶瓷臺階(4)上，帶有金屬埋線的陶瓷臺階(4)與下方陶瓷基底(5)固定，在陶瓷管座外部與底部布有金屬引腳(7)，在陶瓷管座底部三個方向布有接地引腳(8)，金屬引腳(7)通過內(nèi)部走線與帶有金屬埋線的陶瓷臺階(4)表面上的金屬焊盤(6)相連。
2.如權(quán)利要求1所述的一種適用于MEMS慣性傳感器封裝的陶瓷外殼，其特征在于：所述的帶有金屬埋線的陶瓷臺階(4)采用單面設(shè)計，帶有金屬埋線的陶瓷臺階(4)上布有數(shù)量不定的金屬焊盤(6)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種適用于MEMS慣性傳感器封裝的陶瓷外殼，其特征在于：所述陶瓷外殼采用氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷或LTCC。
4.如權(quán)利要求1所述的一種適用于MEMS慣性傳感器封裝的陶瓷外殼，其特征在于：金屬封口環(huán)(1)與可伐金屬蓋板(3)之間通過平行封焊工藝進(jìn)行焊接。
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