[實用新型]一種間距測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821339826.0
• 申請日: 2018-08-20
• 公開（公告）號: CN208620962U
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬建偉;顧葆華;翟云華;趙輝;何方;金楊林
• 申請（專利權(quán)）人: 南京中電熊貓平板顯示科技有限公司;南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司;南京華東電子信息科技股份有限公司
• 主分類號: G01B5/14
• 分類號: G01B5/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種間距測量裝置，包括：測量主體，所述測量主體具有一個傾斜的測量面，所述測量面上覆蓋疊層結(jié)構(gòu)，還包括痕跡清除輥，所述痕跡清除輥設(shè)置在疊層結(jié)構(gòu)和測量主體之間，所述痕跡清除輥可以沿著測量面運動通過在測量主體上覆蓋疊層結(jié)構(gòu)，通過疊層結(jié)構(gòu)記錄接觸痕跡，方便在測量裝置取出之后進行數(shù)據(jù)讀數(shù)，同時測量裝置還可以深入蓋板包裹的液刀和風(fēng)刀內(nèi)進行有效的測量，提升了測量數(shù)據(jù)的準確性，操作簡單，提升了工作效率，可以循環(huán)使用，降低了成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種間距測量裝置，特別是一種用于液晶制造領(lǐng)域的風(fēng)刀和液刀與基板之間距離的測量裝置。

背景技術(shù)

在液晶顯示制造領(lǐng)域，濕式設(shè)備是最常用的設(shè)備之一，風(fēng)刀和液刀在新型半導(dǎo)體顯示以及半導(dǎo)體的濕式設(shè)備中具有廣泛應(yīng)用，風(fēng)刀裝置一般設(shè)置在傳送腔室出口，藥液腔室之間以及除水腔室等。液刀一般設(shè)置在濕式腔室內(nèi)部。在實際應(yīng)用中各種風(fēng)刀和液刀與基板的距離控制，跟產(chǎn)品的質(zhì)量息息相關(guān)，因此風(fēng)刀和液刀與基板之間的距離控制極為重要。

隨著液晶面板行業(yè)基板不斷大型化，液晶顯示制造設(shè)備的寬度也隨著基板的增大而增大，對應(yīng)的風(fēng)刀和液刀的長度也不斷增加，較長的風(fēng)刀和液刀在安裝使用過程中會存在形變的風(fēng)險，風(fēng)刀和液刀的形變會改變風(fēng)刀和液刀與基板之間的距離，因此在設(shè)備保養(yǎng)和維護時，需要對風(fēng)刀和液刀之間的距離進行測量，并且與標準進行對比，如果存在形變現(xiàn)象，則會做出相應(yīng)的調(diào)整。

目前的風(fēng)刀和液刀的測量，往往不能直接將測量工具直接放置到風(fēng)刀和液刀與基板之間，由于設(shè)備較大，風(fēng)刀和液刀的設(shè)置深度可達一米以上，因此讀數(shù)非常不方便以及不準確，在對有蓋板包裹位置的風(fēng)刀和液刀與基板之間的距離進行測量時，需要頻繁拆裝蓋板，極易造成蓋板松動，并引起相關(guān)設(shè)備異常。現(xiàn)在的測量方法不僅測量時間長，測量精度不高，而且測量效率低下。

實用新型內(nèi)容

本實用新型提供了一種間距測量裝置，該裝置能夠通過在測量主體上形成接觸痕跡，方便在測量裝置取出之后進行數(shù)據(jù)讀數(shù)，提升了測量數(shù)據(jù)的準確性，操作簡單，可以循環(huán)使用。

一種間距測量裝置，包括：測量主體，所述測量主體具有一個傾斜的測量面，所述測量面上覆蓋疊層結(jié)構(gòu)；所述間距測量裝置還包括痕跡清除輥，所述痕跡清除輥設(shè)置在疊層結(jié)構(gòu)和測量主體之間，所述痕跡清除輥可以沿著測量面運動。

優(yōu)選的，所述測量主體為三棱柱，所述三棱柱橫截面為直角三角形，所述直角三角形的斜邊所在面為測量面。

優(yōu)選的，還包括手柄，所述手柄設(shè)置在測量主體的非測量面上。

優(yōu)選的，所述手柄包括握持部和連接部，所述連接部采用中空設(shè)計，所述握持部嵌入連接部中。

優(yōu)選的，所述連接部還包括彈簧。

優(yōu)選的，所述手柄和測量主體由不銹鋼材料制成。

優(yōu)選的，所述疊層結(jié)構(gòu)依次包括：聚氯乙烯接觸膜、痕跡膜以及聚氯乙烯接觸膜。

優(yōu)選的，所述測量主體還包括位于測量面下的痕跡清除輥收納槽，所述痕跡清除輥收納于痕跡清除輥收納槽中。

優(yōu)選的，所述測量主體還包括刻度線，所述刻度線設(shè)置在測量主體側(cè)壁上。

優(yōu)選的，所述測量主體還包括固定所述層疊結(jié)構(gòu)在測量面上的固定螺絲，所述固定螺絲將疊層結(jié)構(gòu)固定到測量主體上。

本實用新型通過在測量主體上覆蓋疊層結(jié)構(gòu)，通過疊層結(jié)構(gòu)記錄接觸痕跡，方便在測量裝置取出之后進行數(shù)據(jù)讀數(shù)，同時測量裝置還可以深入蓋板包裹的液刀和風(fēng)刀內(nèi)進行有效的測量，提升了測量數(shù)據(jù)的準確性，操作簡單，提升了工作效率，可以循環(huán)使用，降低了成本。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例一結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型疊層結(jié)構(gòu)示意圖；