[實用新型]傳輸裝置及顯影設備有效
| 申請號: | 201821335613.0 | 申請日: | 2018-08-17 |
| 公開(公告)號: | CN208444134U | 公開(公告)日: | 2019-01-29 |
| 發明(設計)人: | 郭光龍;高錦成;張驥;胡威威 | 申請(專利權)人: | 合肥京東方顯示技術有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/30 | 分類號: | G03F7/30 |
| 代理公司: | 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138 | 代理人: | 劉小鶴 |
| 地址: | 230012 安徽省合肥市新*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 傳輸輥 基板 傳輸結構 凸起結構 傳輸裝置 顯影設備 旋轉軸 本實用新型 顯示面板 顯影處理 振動現象 最大距離 均一性 顯影液 圓環狀 傳輸 制造 | ||
本實用新型公開了一種傳輸裝置及顯影設備,屬于顯示面板制造領域。該方法包括:機架;在機架上設置的多根第一子傳輸輥和多根第二子傳輸輥;每根第一子傳輸輥上設置有多個具有至少一個凸起結構的第一傳輸結構,每根第二子傳輸輥上設置有多個圓環狀的第二傳輸結構;其中,每個凸起結構與第一子傳輸輥的旋轉軸之間的最大距離,大于第二傳輸結構的外表面與第二子傳輸輥的旋轉軸之間的距離。當基板在多根第一子傳輸輥上傳輸時,該基板會在凸起結構的作用下產生振動現象,使得該基板中各個區域的顯影液的濃度相同,有效的提高了對該基板進行顯影處理時的均一性。
技術領域
本實用新型涉及顯示面板制造領域,特別涉及一種傳輸裝置及顯影設備。
背景技術
隨著顯示技術的發展,各種具有顯示功能的產品出現在日常生活中,例如手機、平板電腦、電視機、筆記本電腦、數碼相框和導航儀等,這些產品都無一例外的需要裝配顯示面板。
目前,大部分顯示面板可以包括陣列基板、彩膜基板以及位于陣列基板與彩膜基板之間的液晶層。該陣列基板的每個子像素區域中設置有驅動電路,以及與該驅動電路連接的像素電極,每個子像素區域中的驅動電路可以包括至少一個薄膜晶體管(英文:ThinFilm Transistor;簡稱:TFT)。目前陣列基板中的驅動電路與像素電極是通過多次構圖工藝形成,每次構圖工藝均可以包括:光刻膠涂覆、曝光處理、顯影處理、刻蝕處理和光刻膠剝離。
通??梢圆捎蔑@影設備進行顯影處理,該顯影設備可以包括:傳輸裝置和噴頭。該傳輸裝置可以帶動待顯影處理的基板向靠近噴頭的方向移動,當噴頭在傳輸裝置的承載面上的正投影,位于該基板在傳輸裝置的承載面上的正投影內時,噴頭可以對該基板噴射顯影液。在噴頭噴射顯影液的過程中,傳輸裝置持續帶動基板移動。當噴頭在傳輸裝置的承載面上的正投影,與該基板在傳輸裝置的承載面上的正投影內不重合時,噴頭停止噴射顯影液。
在顯影處理的過程中,噴頭所噴射的顯影液在基板中不同區域濃度不同,例如,在基板中驅動電路所在區域的顯影液的濃度較大,在基板中像素電極所在區域的顯影液的濃度較小,從而導致顯影處理的均一性較差。
實用新型內容
本申請提供了一種傳輸裝置及顯影設備,可以解決現有的顯影設備進行顯影處理時的均一性較差問題。所述技術方案如下:
第一方面,提供了一種傳輸裝置,其特征在于,包括:
機架;
在所述機架上設置的平行排布的多根傳輸輥,所述多根傳輸輥包括多根第一子傳輸輥,以及除所述多根第一子傳輸輥之外的多根第二子傳輸輥;
每根所述第一子傳輸輥上設置有多個具有至少一個凸起結構的第一傳輸結構,
每根所述第二子傳輸輥上設置有多個圓環狀的第二傳輸結構;
其中,每個所述凸起結構與所述第一子傳輸輥的旋轉軸之間的最大距離,大于所述第二傳輸結構的外表面與所述第二子傳輸輥的旋轉軸之間的距離。
可選的,所述傳輸裝置具有第一傳輸區域、第二傳輸區域與第三傳輸區域,所述第二傳輸區域位于所述第一傳輸區域與所述第三傳輸區域之間;
其中,所述第一子傳輸輥與所述第二子傳輸輥交替的排布在所述第一傳輸區域以及所述第三傳輸區域中,所述第二傳輸區域中的傳輸輥均為所述第二子傳輸輥。
可選的,每個所述第一傳輸結構具有與所述凸起結構連接的凸出的曲面,每根所述第一子傳輸輥均具有傳輸狀態和傳輸禁止狀態,
在所述第一子傳輸輥處于傳輸狀態時,所述第一子傳輸輥繞所述第一子傳輸輥的旋轉軸轉動;
在所述第一子傳輸輥處于傳輸禁止狀態時,所述第一子傳輸輥中的每個所述第一傳輸結構的曲面朝向所述傳輸裝置的承載面。
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