[實用新型]一種空間光路的光柵尺標定裝置

有效

• 申請號: 201821334574.2
• 申請日: 2018-08-17
• 公開（公告）號: CN209485273U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 張文濤;杜浩;熊顯名;朱保華;張玉婷;徐韶華
• 申請（專利權）人: 桂林電子科技大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 石燕妮

1.一種空間光路的光柵尺標定裝置，其特征在于，該標定裝置包括運動臺(7)和測量裝置，所述運動臺處于封閉的微環境區域(10)內，所述測量裝置設置于運動臺上，隨運動臺運動；所述測量裝置包括具有第一平面和第二平面的承載臺(913)，所述第一平面與第二平面相互平行；所述第一平面向所述第二平面凹陷形成一凹槽結構，在所述凹槽結構的底面上設置有4個平面光柵(908)，每個所述平面光柵分別處于一四邊形的頂點處；在每個所述平面光柵的上方設置有一讀頭；

所述承載臺的相對的兩側面的外側各設置有一個第二反射鏡(906)，所述第二反射鏡設置于該第二反射鏡所在側面的上區域，由所述上區域邊沿向所述第二平面延伸形成第四反射鏡(905)，所述第四反射鏡與所述第二反射鏡的夾角大于90°；

所述承載臺的另外兩相對的側面的其中一個側面的外側設置有第一反射鏡(907)；

所述測量裝置還包括第一干涉儀(901)、第二干涉儀(903)和第三干涉儀(902)，所述第二干涉儀與第三干涉儀與第二反射鏡同側設置，所述第一干涉儀與第一反射鏡同側設置；

所述測量裝置還包括兩第三反射鏡，第二干涉儀與第三干涉儀發出的光線的一部分經第四反射鏡反射進入到第三反射鏡；

該標定裝置還包括框架(8)和平臺(3)，所述框架設置于所述平臺上，所述框架圍繞所述測量裝置設置；所述框架處于所述微環境區域(10)內，所述讀頭固定于所述框架上；4個所述讀頭處于同一平面。

2.根據權利要求1所述的一種空間光路的光柵尺標定裝置，其特征在于，所述四邊形為矩形或正方形。

3.根據權利要求2所述的一種空間光路的光柵尺標定裝置，其特征在于，兩相鄰的讀頭對稱設置。

4.根據權利要求3所述的一種空間光路的光柵尺標定裝置，其特征在于，靠近第二干涉儀的兩讀頭的連線與兩所述第三反射鏡的連線相互垂直。

5.根據權利要求4所述的一種空間光路的光柵尺標定裝置，其特征在于，靠近第二干涉儀的兩讀頭的連線為兩所述第三反射鏡的連線的垂直平分線。