[實用新型]一種切割治具系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821332434.1 | 申請日: | 2018-08-17 |
| 公開(公告)號: | CN208680793U | 公開(公告)日: | 2019-04-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 陶雄兵;周欣;徐俊南;李貴群;賴程飛;李萬朋 | 申請(專利權(quán))人: | 東莞市盛雄激光設(shè)備有限公司 |
| 主分類號: | B23K26/70 | 分類號: | B23K26/70;B23K26/38 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人: | 張春水;唐京橋 |
| 地址: | 523000 廣東省東莞市大*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 切割治具 治具 除塵塊 底板 半導(dǎo)體加工 本實用新型 技術(shù)缺陷 配合連接 切割效率 生產(chǎn)效率 有效解決 平整性 集氣 申請 切割 | ||
本實用新型涉及半導(dǎo)體加工的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種切割治具系統(tǒng)。本申請公開的一種切割治具系統(tǒng),能有效解決目前的切割治具存在的切割效率低、精度差、切割得到的產(chǎn)品平整性和穩(wěn)定性差的技術(shù)缺陷。本申請的切割治具系統(tǒng),包括:第一治具、第二治具、底板、第一真空塊、第二真空塊、第一除塵塊、第二除塵塊和集氣塊,通過相互配合連接形成雙治具結(jié)構(gòu)以提高生產(chǎn)效率。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及半導(dǎo)體加工的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種切割治具系統(tǒng)。
背景技術(shù)
當(dāng)今社會科技日新月異,制造業(yè)的加工效率也在飛速的發(fā)展,尤其移動通訊、指紋模組、照明、集成電路和半導(dǎo)體等行業(yè)。這樣促使了FPC、COB、PCB、指紋IC、LED、硅晶圓、硅片、藍(lán)寶石襯底玻璃、半導(dǎo)體襯底的需求量猛增,在生產(chǎn)這些產(chǎn)品時,均需要對這些產(chǎn)品進(jìn)行切割。要實現(xiàn)對這些產(chǎn)品的切割,傳統(tǒng)的切割工具很難保證產(chǎn)品的精度及質(zhì)量,而激光切割精度高,邊緣效果好,很適合這類產(chǎn)品的切割。
但是,在切割時,傳統(tǒng)的切割治具一次只能對一個產(chǎn)品進(jìn)行切割處理,使得切割效率很低,難以滿足目前的產(chǎn)業(yè)需要。
實用新型內(nèi)容
有鑒于此,本實用新型的目的在于提供一種切割效率高的切割治具系統(tǒng)。
為達(dá)到上述目的,本實用新型提供以下技術(shù)方案:
一種切割治具系統(tǒng),包括:
第一治具,設(shè)有空腔,所述第一治具的下表面設(shè)有第一真空通孔與第一抽塵通孔;
第二治具,設(shè)有空腔,所述第二治具的下表面設(shè)有第二真空通孔與第二抽塵通孔;
底板,為板狀結(jié)構(gòu),所述第一治具和所述第二治具固定在所述底板的上表面;
第一真空塊,為中空結(jié)構(gòu),所述第一真空塊的內(nèi)腔與所述第一真空通孔連通,且所述第一真空塊固定在所述底板的下表面;
第二真空塊,為中空結(jié)構(gòu),所述第二真空塊的內(nèi)腔與所述第二真空通孔連通,且所述第二真空塊固定在所述底板的下表面;
第一除塵塊,為中空結(jié)構(gòu),所述第一除塵塊的內(nèi)腔與所述第一抽塵通孔連通,且所述第一除塵塊固定在所述底板的下表面;
第二除塵塊,為中空結(jié)構(gòu),所述第二除塵塊的內(nèi)腔與所述第二抽塵通孔連通,且所述第二除塵塊固定在所述底板的下表面;
集氣塊,為中空結(jié)構(gòu),所述第一真空塊和所述第二真空塊分別通過管道與所述集氣塊連通;所述第一除塵塊和所述第二除塵塊分別通過管道與所述集氣塊連通,且所述集氣塊固定在所述底板的下表面。
優(yōu)選地,所述第一治具和所述第二治具還設(shè)有吸附孔,所述吸附孔設(shè)置在所述第一治具和所述第二治具的上表面。
優(yōu)選地,所述第一治具和所述第二治具還設(shè)有吸塵孔,所述吸塵孔設(shè)置在所述第一治具和所述第二治具的上表面。
優(yōu)選地,所述第一治具、所述第二治具和底板還設(shè)有固定孔,所述第一治具的固定孔與所述底板的固定孔通過螺栓固定連接;所述第二治具的固定孔與所述底板的固定孔通過螺栓固定連接。
優(yōu)選地,所述第一治具還設(shè)有定位銷。
優(yōu)選地,所述第二治具還設(shè)有定位銷。
優(yōu)選地,所述第一治具的下表面還設(shè)有第三真空通孔。
優(yōu)選地,所述第二治具的下表面還設(shè)有第四真空通孔。
優(yōu)選地,所述切割治具系統(tǒng)還包括:
第三真空塊,為中空結(jié)構(gòu),所述第三真空塊的內(nèi)腔與所述第三真空通孔連通,且所述第三真空塊固定在所述底板的下表面,所述第三真空塊通過管道與所述集氣塊連通。
優(yōu)選地,所述切割治具系統(tǒng)還包括:
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