[實用新型]一種半導體及泛半導體基板自動化上料裝置

有效

• 申請號: 201821330213.0
• 申請日: 2018-08-17
• 公開（公告）號: CN208570569U
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 沈良霖
• 申請（專利權）人: 浙江雅市晶科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京方圓嘉禾知識產權代理有限公司 11385
• 代理人: 董芙蓉

1.一種半導體及泛半導體基板自動化上料裝置，包括支撐底板（1），其特征在于：所述支撐底板（1）頂部一側固定連接有固定底盤（2），所述支撐底板（1）遠離固定底盤（2）的一側固定連接有轉動底箱（3），所述固定底盤（2）頂部遠離轉動底箱（3）的一側固定連接有電動伸縮桿（4），所述固定底盤（2）頂部位于電動伸縮桿（4）靠近轉動底箱（3）的一側固定連接有支撐架（5），所述支撐架（5）遠離固定底盤（2）的一側固定連接有撕紙裝置（6），所述固定底盤（2）頂部位于支撐架（5）遠離電動伸縮桿（4）的一側固定連接有收紙裝置（7），所述轉動底箱（3）內腔底部中間位置轉動連接有轉動主軸（8），所述轉動主軸（8）外表面位于轉動底箱（3）內腔固定連接有槽輪（9），所述轉動底箱（3）內腔底部位于轉動主軸（8）靠近固定底盤（2）的一側固定連接有轉動電機（10），所述轉動電機（10）輸出端通過聯軸器固定連接有主動輪（11），所述轉動底箱（3）內腔底部位于轉動主軸（8）遠離轉動電機（10）的一側固定連接有散熱扇（12），所述轉動主軸（8）頂端固定連接有橫板（13），所述橫板（13）遠離轉動主軸（8）的一側固定連接有水平移動裝置（14），所述水平移動裝置（14）遠離橫板（13）的一側固定連接有連接架（15），所述連接架（15）遠離水平移動裝置（14）的一端轉動連接有連桿（16），所述連桿（16）遠離連接架（15）的一端轉動連接有取送裝置（17）。

2.根據權利要求1所述的一種半導體及泛半導體基板自動化上料裝置，其特征在于：所述撕紙裝置（6）包括支桿（61），所述支桿（61）頂端遠離支撐架（5）的一端轉動連接有橫桿（62），所述橫桿（62）靠近收紙裝置（7）的一端固定連接有夾塊（63），所述夾塊（63）遠離橫桿（62）的一側固定連接有柔性塊（64）。

3.根據權利要求1所述的一種半導體及泛半導體基板自動化上料裝置，其特征在于：所述收紙裝置（7）包括收紙架（71）和收紙電機（72），所述收紙架（71）遠離固定底盤（2）的一側轉動連接有收紙輥（73），所述收紙輥（73）正面固定連接有從動帶輪（74），所述收紙電機（72）輸出端通過聯軸器固定連接有主動帶輪（75），所述主動帶輪（75）外表面通過皮帶（76）與從動帶輪（74）滑動連接。

4.根據權利要求1所述的一種半導體及泛半導體基板自動化上料裝置，其特征在于：所述散熱扇（12）包括散熱扇箱（121），所述散熱扇箱（121）內腔兩側外壁均開設有百葉扇（122），所述散熱扇箱（121）內腔遠離轉動主軸（8）的一側固定連接有散熱電機（123），所述散熱電機（123）輸出端通過聯軸器固定連接有散熱轉軸（124），所述散熱轉軸（124）遠離散熱電機（123）的一端固定連接有散熱扇葉（125）。

5.根據權利要求1所述的一種半導體及泛半導體基板自動化上料裝置，其特征在于：所述水平移動裝置（14）包括軌道底槽（141），所述軌道底槽（141）內腔底部遠離固定底盤（2）的一側固定連接有水平電機（142），所述水平電機（142）輸出端通過聯軸器固定連接有變速器（143），所述變速器（143）遠離水平電機（142）的一端轉動連接有絲桿（144），所述絲桿（144）外表面螺紋連接有水平滑塊（145）。

6.根據權利要求1所述的一種半導體及泛半導體基板自動化上料裝置，其特征在于：所述取送裝置（17）包括取送板（171），所述取送板（171）靠近固定底盤（2）的一側固定連接有真空吸嘴（172），所述取送板（171）遠離真空吸嘴（172）的一側中間位置固定連接有轉動器（173），所述取送板（171）遠離真空吸嘴（172）的一側頂部和底部均固定連接有真空泵（174），所述真空泵（174）輸入端通過軟管與真空吸嘴（172）連通。

7.根據權利要求1所述的一種半導體及泛半導體基板自動化上料裝置，其特征在于：所述轉動主軸（8）貫穿轉動底箱（3）并延伸至轉動底箱（3）頂部，所述槽輪（9）外表面與主動輪（11）滑動連接。