[實(shí)用新型]一種長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821328557.8
• 申請(qǐng)日: 2018-08-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208836438U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃詩(shī)洋;張貴新;劉程;鄧?yán)?/a>;謝宏
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H05H1/46
• 分類(lèi)號(hào): H05H1/46
• 代理公司: 北京維正專(zhuān)利代理有限公司 11508
• 代理人: 曹曉斐

1.一種長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置，其特征在于：包括微波波導(dǎo)管（1）、插接在所述微波波導(dǎo)管（1）內(nèi)的非金屬放電管（2）、固定在所述非金屬放電管（2）內(nèi)壁處的輔助激發(fā)導(dǎo)體（3）、以及固定在所述微波波導(dǎo)管（1）上且向非金屬放電管（2）內(nèi)通入氣體的渦旋氣體發(fā)生裝置（4）；所述輔助激發(fā)導(dǎo)體（3）上下兩端都位于所述微波波導(dǎo)管（1）內(nèi)部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置，其特征是：所述非金屬放電管（2）的中心軸線(xiàn)位置位于距離微波波導(dǎo)管（1）端面（1/4λ+kλ）處，λ為系統(tǒng)中微波波長(zhǎng)，k為大于等于0的整數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置，其特征是：所述輔助激發(fā)導(dǎo)體（3）貼合在所述非金屬放電管（2）內(nèi)壁上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置，其特征是：所述輔助激發(fā)導(dǎo)體（3）圓周側(cè)壁呈網(wǎng)格狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置，其特征是：所述輔助激發(fā)導(dǎo)體（3）圓周側(cè)壁呈螺旋線(xiàn)狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求3-5任一項(xiàng)所述的長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置，其特征是：所述輔助激發(fā)導(dǎo)體（3）上延伸形成有尖端（31）。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置，其特征是：所述渦旋氣體發(fā)生裝置（4）包括固定在所述微波波導(dǎo)管（1）上的環(huán)形金屬固定板（41）、以及導(dǎo)氣管（42），所述環(huán)形金屬固定板（41）的內(nèi)腔與非金屬放電管（2）連通，所述導(dǎo)氣管（42）一端穿過(guò)環(huán)形金屬固定板（41）側(cè)壁，且連通環(huán)形金屬固定板（41）的內(nèi)腔。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置，其特征是：所述導(dǎo)氣管（42）與所述環(huán)形金屬固定板（41）內(nèi)壁平齊，所述導(dǎo)氣管（42）與環(huán)形金屬固定板（41）連接處的管段的軸向線(xiàn)與環(huán)形金屬固定板（41）的軸向線(xiàn)的夾角a呈10-80度；

所述非金屬放電管（2）一端與微波波導(dǎo)管（1）外壁平齊，另一端延伸出所述微波波導(dǎo)管（1）。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置，其特征是：所述導(dǎo)氣管（42）在所述環(huán)形金屬固定板（41）的圓周方向設(shè)置有若干個(gè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長(zhǎng)使用壽命的新型微波等離子體激發(fā)裝置，其特征是：所述輔助激發(fā)導(dǎo)體（3）為耐高溫導(dǎo)電材料。