[實用新型]可調節式噴嘴

有效

• 申請號: 201821323892.9
• 申請日: 2018-08-16
• 公開（公告）號: CN208976085U
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: 羅文濱;魏杰
• 申請（專利權）人: 安徽宏實自動化裝備有限公司
• 主分類號: B05B1/30
• 分類號: B05B1/30;B05B15/68
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

本實用新型公開了可調節式噴嘴，包括噴嘴外殼、調節圓板和密封卡件，所述噴嘴外殼包括安裝套筒，所述安裝套筒靠近開口端的外側壁固定連接有兩個對稱設置的手柄桿，所述安裝套筒遠離開口端的側壁固定連接有連接板的一端，所述連接板的另一端固定連接有擋板，所述安裝套筒遠離開口端的側壁開設有出液孔。通過調節撥動齒輪，進而調節扇形通孔與扇形遮板的相對位置，以改變通流界面的大小，從而調節化學品噴出的速度，使所用的化學品得到充分的利用，還可以在一定程度上提高工作效率，適應范圍更廣。推動手柄桿，使整個噴嘴轉動，可以調節噴嘴噴淋的角度，使用更方便。

技術領域

本實用新型涉及半導體濕式制程設備領域，具體涉及可調節式噴嘴。

背景技術

在半導體濕式制程中晶圓的清洗和蝕刻都需要經過許多高純度的化學品的清洗，通常是采用噴嘴噴灑或風刀流出化學品或水等處理液體。目前所用的噴嘴無法調節噴淋的角度和速度，水壓難以控制，導致清洗效率較低，同時也會造成化學品的浪費。

實用新型內容

為了解決上述的技術問題，本實用新型的目的在于提供可調節式噴嘴，通過實現噴嘴角度和速度的調節，使化學品的利用率提高，同時讓噴嘴可以更加方便的使用。

本實用新型的目的可以通過以下技術方案實現：

本實用新型提供了可調節式噴嘴，包括噴嘴外殼、調節圓板和密封卡件，所述噴嘴外殼包括安裝套筒，所述安裝套筒靠近開口端的外側壁固定連接有兩個對稱設置的手柄桿，所述安裝套筒遠離開口端的側壁固定連接有連接板的一端，所述連接板的另一端固定連接有擋板，所述安裝套筒遠離開口端的側壁開設有出液孔，所述安裝套筒的內壁固定連接有限位環形板，所述限位環形板與調節圓板的一側相抵觸，所述調節圓板的另一側與密封卡件相抵觸，所述密封卡件插接在安裝套筒中，所述調節圓板的中心處開設有安裝孔，所述調節圓板上開設有四個環形分布的扇形通孔。

所述密封卡件包括連接軸承和四個扇形遮板，所述連接軸承的內圈側壁固定連接有兩個對稱設置的連接桿，其中兩個所述扇形遮板分別與兩個連接桿遠離連接軸承的一端固定連接，四個所述扇形遮板固定連接在同一個安裝環形板的外圈側壁，且四個扇形遮板呈環形分布。

進一步的，所述安裝套筒靠近擋板的內側壁通過支撐桿連接有固定桿的一端，所述固定桿的另一端螺紋連接有螺母，所述調節圓板和安裝環形板均活動套接在固定桿上。

進一步的，所述安裝套筒開口端的內側壁上開設有定位滑動槽，其中一個所述連接桿的側壁固定連接有匹配定位滑動槽的定位塊。

進一步的，所述調節圓板的外圈側壁設置有輪齒，所述安裝套筒的外側壁固定連接有撥動組件，所述撥動組件包括安裝矩形框，所述安裝矩形框與安裝套筒的外側壁固定連接，所述安裝矩形框的內側壁固定連接有轉軸，所述轉軸轉動套接有撥動齒輪，所述撥動齒輪靠近調節圓板的一側貫穿安裝套筒的側壁后與調節圓板嚙合，且撥動齒輪遠離調節圓板的一側位于安裝矩形框的外部。

進一步的，所述安裝矩形框的內側壁固定連接有密封橡膠墊。

本實用新型的有益效果：

(1)通過調節撥動齒輪，進而調節扇形通孔與扇形遮板的相對位置，以改變通流界面的大小，從而調節化學品噴出的速度，使所用的化學品得到充分的利用，還可以在一定程度上提高工作效率，適應范圍更廣。

(2)通過推動手柄桿，使整個噴嘴轉動，可以調節噴嘴噴淋的角度，使用更方便。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型作進一步的說明。

圖1是本實用新型的立體裝配圖；

圖2是本實用新型的調節圓板的A向視圖；

圖3是本實用新型的密封卡件的A向視圖；