[實用新型]一種光阻涂布裝置

有效

• 申請號: 201821322479.0
• 申請日: 2018-08-16
• 公開（公告）號: CN208922056U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 李廣宇
• 申請（專利權）人: 安吉科廣新材料科技有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G03F7/42
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 韓燕燕

1.一種光阻涂布裝置，其特征在于，包括光阻涂布機構、兩個光阻殘留去除結構、清洗液罐以及吹風機；

所述光阻涂布機構包括光阻存儲器以及設置于所述光阻存儲器下端面上的涂布組件，該涂布組件呈棱柱狀，且該涂布組件的一個第一側壁面與該光阻存儲器的底壁連接，該光阻存儲器的底壁上開設有條狀出口，該涂布組件設置有沿著該第一側壁面的中垂面設置的與該條狀出口連通的涂布槽，該涂布槽從該第一側壁面處延伸至與該第一側壁面相對的側棱處，且將該側棱貫穿，該涂布槽的長度小于該涂布組件的長度且等于該條狀出口的長度；

該光阻涂布機構本體的兩個相互傾斜連接的第二側壁面上分別設置有滑動槽，該滑動槽沿著該涂布組件的長度方向延伸；

該兩個光阻殘留去除結構分別設置于該兩個第二側壁面上且可沿著所述滑動槽滑動；所述光阻殘留去除結構包括滑塊、擦板、風嘴以及噴液嘴，所述滑塊可滑動地設置于所述滑動槽中，所述滑塊中設置有電機驅動機構以驅動該滑塊沿著該滑動槽自動滑動，該擦板設置于該滑塊上且其內側面與該第二側壁面的局部貼合，該擦板以及風嘴分別設置于該滑塊上且位于該擦板兩側；

所述清洗液罐通過排液管與該噴液嘴連通，該吹風機通過排風管與該風嘴連通，該排液管上還設置有流量控制閥，以控制清洗液的流量，在多次清洗中分別采用不同的流量進行清洗。

2.根據權利要求1所述的一種光阻涂布裝置，其特征在于，所述擦板的寬度為所述第二側壁面寬度的一半。

3.根據權利要求2所述的一種光阻涂布裝置，其特征在于，所述擦板可沿著所述第二側壁面的寬度方向滑動地設置于該滑塊上，且該擦板上設置有鎖緊機構，使得鎖緊時，該擦板相對該滑塊固定，解鎖時，該擦板可相對該滑塊滑動。

4.根據權利要求1所述的一種光阻涂布裝置，其特征在于，所述擦板的與所述第二側壁面接觸的一面設置有彈性層。

5.根據權利要求1所述的一種光阻涂布裝置，其特征在于，所述擦板的寬度為所述第二側壁面的寬度相同。

6.根據權利要求1所述的一種光阻涂布裝置，其特征在于，所述側面上開設有多個沿著寬度方向延伸的用于導引清洗液的導流槽。

7.根據權利要求1所述的一種光阻涂布裝置，其特征在于，還包括控制芯片以及電池組件，該控制芯片以及電池組件均設置于所述滑塊內，控制芯片以及電池組件分別與所述電機驅動機構連接。