[實(shí)用新型]一種磷烷氣體的制備裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821317524.3
• 申請日: 2018-08-15
• 公開（公告）號: CN208684412U
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬杰
• 申請（專利權(quán)）人: 馬杰;馬彬淇
• 主分類號: C01B25/06
• 分類號: C01B25/06
• 代理公司: 北京細(xì)軟智谷知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11471
• 代理人: 韓國強(qiáng)

本實(shí)用新型涉及一種磷烷氣體的制備裝置，所述磷烷氣體的制備裝置包括液氮罐、加料容器、反應(yīng)釜、冷凝塔、分子篩、液氮冷肼；所述液氮罐、所述加料容器、所述反應(yīng)釜、所述冷凝塔、所述分子篩和所述液氮冷肼通過管道依次串聯(lián)在一起。本實(shí)用新型的有益效果為：本實(shí)用新型所述一種磷烷氣體的制備裝置，在整個制備過程中為密閉制備，避免了泄漏的風(fēng)險，使制備更環(huán)保安全。此外，本實(shí)用新型采用冷凝塔及分子篩通過冷凝和吸附的作用去除磷烷氣體中的雜質(zhì)，制作比較環(huán)保，工藝簡單。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及磷烷制備領(lǐng)域，具體涉及一種磷烷氣體的制備裝置。

背景技術(shù)

目前磷烷在半導(dǎo)體、IC、化學(xué)工業(yè)、糧食倉儲等領(lǐng)域有著重要的用途，由于磷烷有劇毒，生產(chǎn)工藝比較復(fù)雜，成本較高，產(chǎn)品質(zhì)量較差，特別是高純磷烷，國內(nèi)還是全部依賴進(jìn)口。磷烷合成不能通過簡單的單質(zhì)反應(yīng)來實(shí)現(xiàn)，通常是使用金屬磷化物水解來制備，其產(chǎn)率取決于磷化物中金屬元素的性質(zhì)和采用何種分解劑，通常產(chǎn)率在14％-80％之間。

目前。磷烷主要有國外兩家跨國公司生產(chǎn)和銷售，我國沒有磷烷生產(chǎn)的經(jīng)驗(yàn)和工廠，因此，國內(nèi)高純磷烷長期處于供不應(yīng)求的局面，電子特種材料被視為高科技發(fā)展的戰(zhàn)略物資，沒有電子特種材料技術(shù)，就無從談起高科技產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展，所以我國的電子特種材料國產(chǎn)化是迫在眉睫，意義重大。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本實(shí)用新型提供了一種磷烷氣體的制備裝置。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為：

一種磷烷氣體的制備裝置，包括液氮罐、加料容器、反應(yīng)釜、冷凝塔、分子篩、液氮冷肼；所述液氮罐、所述加料容器、所述反應(yīng)釜、所述冷凝塔、所述分子篩和所述液氮冷肼通過管道依次串聯(lián)在一起。

進(jìn)一步地，所述加料容器包括第一加料容器和第二加料容器，所述第一加料容器和所述第二加料容器通過管道連通。

進(jìn)一步地，所述冷凝塔包括第一冷凝塔和第二冷凝塔，所述第一冷凝塔和所述第二冷凝塔通過管道連通。

進(jìn)一步地，所述分子篩包括第一分子篩和第二分子篩，所述第一分子篩和所述第二分子篩通過管道連通。

進(jìn)一步地，所述第一分子篩為5A分子篩。

進(jìn)一步地，所述第二分子篩為13X分子篩。

進(jìn)一步地，還包括真空管線、儲渣罐和廢氣處理器，真空管線的一端分別與儲渣罐和反應(yīng)釜相連通，真空管線的另一端經(jīng)真空泵與廢氣處理器相連通。

進(jìn)一步地，還包括排空管線，排空管線的一端分別與反應(yīng)釜和液氮冷肼的廢氣出口相連通，排空管線的另一端與廢氣處理器相連通。

進(jìn)一步地，所述排空管線與反應(yīng)釜之間安裝有第一截止閥，所述排空管線與液氮冷肼之間安裝有第二截止閥。

進(jìn)一步地，所述廢氣處理器的氣體出口與儲渣罐的氣體入口相連通，所述儲渣罐的液體入口上連通有鋼管，所述鋼管延伸到所述反應(yīng)釜內(nèi)的液面以下。

本實(shí)用新型的有益效果為：本實(shí)用新型所述一種磷烷氣體的制備裝置，在整個制備過程中為密閉制備，避免了泄漏的風(fēng)險，使制備更環(huán)保安全。此外，本實(shí)用新型采用冷凝塔及分子篩通過冷凝和吸附的作用去除磷烷氣體中的雜質(zhì)，制作比較環(huán)保，工藝簡單。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型所述磷烷氣體的制備裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1、液氮罐；2、儲渣罐；3、反應(yīng)釜；4、第一加料容器；5、第二加料容器；6、第一冷凝塔；7、第二冷凝塔；8、第一分子篩；9、第二分子篩；10、液氮冷肼；11、真空管線；12、排空管線。

具體實(shí)施方式