[實(shí)用新型]管道檢測(cè)裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821310647.4 | 申請(qǐng)日： | 2018-08-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN208847848U | 公開（公告）日： | 2019-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳伯廷;吳宗祐;林宗賢 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 德淮半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01V9/00 | 分類號(hào)： | G01V9/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孫佳胤;陳麗麗 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 溫控組件 管道檢測(cè)裝置 本實(shí)用新型 半導(dǎo)體制造技術(shù) 半導(dǎo)體產(chǎn)品 半導(dǎo)體機(jī)臺(tái) 控制器連接 管道堵塞 管道排氣 管道外部 生產(chǎn)效率 溫控參數(shù) 控制器 電加熱 檢測(cè) 良率 預(yù)設(shè) 自動(dòng)化 堵塞 | ||
1.一種管道檢測(cè)裝置，其特征在于，包括控制器和至少一溫控組件；所述溫控組件套設(shè)于管道外部，用于對(duì)所述管道進(jìn)行電加熱并檢測(cè)所述管道的溫度；所述控制器連接所述溫控組件，用于判斷所述管道排氣時(shí)所述溫控組件的溫控參數(shù)是否保持在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，若是，則確認(rèn)所述管道堵塞；
所述溫控組件包括加熱機(jī)構(gòu)和傳感器；所述加熱機(jī)構(gòu)套設(shè)于所述管道外部，并連接所述控制器，用于對(duì)所述管道進(jìn)行電加熱；所述傳感器用于檢測(cè)所述管道的溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管道檢測(cè)裝置，其特征在于，所述溫控參數(shù)包括溫度值；所述加熱機(jī)構(gòu)對(duì)所述管道采用恒電流加熱；所述控制器連接所述傳感器，用于判斷所述管道排氣時(shí)所述傳感器檢測(cè)到的溫度值是否保持在所述預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，若是，則確認(rèn)所述管道堵塞。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管道檢測(cè)裝置，其特征在于，所述溫控參數(shù)包括電流值；所述加熱機(jī)構(gòu)連接所述傳感器，用于將所述管道的溫度保持在預(yù)設(shè)溫度；所述控制器用于判斷所述管道排氣時(shí)所述加熱機(jī)構(gòu)的加熱電流是否保持在所述預(yù)設(shè)范圍，若是，則確認(rèn)所述管道堵塞。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的管道檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括報(bào)警器；
所述控制器連接所述報(bào)警器，用于在確認(rèn)所述管道堵塞后控制所述報(bào)警器發(fā)出警報(bào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管道檢測(cè)裝置，其特征在于，所述加熱機(jī)構(gòu)包括保護(hù)套以及均勻分布于所述保護(hù)套夾層內(nèi)的電阻絲，所述保護(hù)套套設(shè)于所述管道外表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的管道檢測(cè)裝置，其特征在于，所述保護(hù)套沿所述管道軸向方向的截面長(zhǎng)度為1m-1.5m。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管道檢測(cè)裝置，其特征在于，至少一溫控組件包括多個(gè)溫控組件，且多個(gè)溫控組件沿所述管道的軸向等間隔套設(shè)于所述管道外部。
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