[實用新型]一種探針臺使用的探針卡裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821309830.2
• 申請日: 2018-08-15
• 公開（公告）號: CN208984679U
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設計）人: 朱麗華;楊宏民
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳臺達創(chuàng)新半導體有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙) 11548
• 代理人: 李靜

本實用新型公開了一種探針臺使用的探針卡裝置，包括探針工作臺，所述探針工作臺的頂部開設有放置槽，放置槽內(nèi)放置有探針卡裝置本體，放置槽的底部內(nèi)壁上開設有第一滑槽，探針卡裝置本體的底部固定安裝有第一滑塊，且第一滑塊與第一滑槽滑動連接，第一滑槽的一側(cè)內(nèi)壁上開設有轉(zhuǎn)動槽，第一滑塊上開設有螺紋通孔，探針工作臺的一側(cè)開設有第一通孔，且第一通孔、第一滑槽和轉(zhuǎn)動槽內(nèi)轉(zhuǎn)動安裝有同一個絲桿，且絲桿的一端貫穿螺紋通孔并與螺紋通孔螺紋連接。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，可以快速方便的對探針卡裝置本體進行移動，提升了其檢測效率，使其檢測更全面，滿足了人們的需求。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及探針卡裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種探針臺使用的探針卡裝置。

背景技術(shù)

探針卡裝置是集成電路工藝領(lǐng)域的重要測試裝置，應用于在集成電路尚未封裝之前，針對半導體襯底用探針卡做功能測試，探針卡負責測試系統(tǒng)與集成電路芯片之間的電氣連接，探針卡上有很多探針，在測試時，探針卡上的探針與半導體襯底上的焊墊接觸，對半導體襯底輸出信號或者測試半導體襯底信號的輸出值，現(xiàn)有的探針卡裝置通常包括探針卡和探針卡平臺的缺陷是，由于探針卡剛好放入探針卡平臺中，使得探針卡的移動和測試不夠方便，所以不能滿足人們的需求。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，而提出的一種探針臺使用的探針卡裝置。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種探針臺使用的探針卡裝置，包括探針工作臺，所述探針工作臺的頂部開設有放置槽，放置槽內(nèi)放置有探針卡裝置本體，放置槽的底部內(nèi)壁上開設有第一滑槽，探針卡裝置本體的底部固定安裝有第一滑塊，且第一滑塊與第一滑槽滑動連接，第一滑槽的一側(cè)內(nèi)壁上開設有轉(zhuǎn)動槽，第一滑塊上開設有螺紋通孔，探針工作臺的一側(cè)開設有第一通孔，且第一通孔、第一滑槽和轉(zhuǎn)動槽內(nèi)轉(zhuǎn)動安裝有同一個絲桿，且絲桿的一端貫穿螺紋通孔并與螺紋通孔螺紋連接，絲桿的另一端貫穿第一通孔并延伸至探針工作臺的外側(cè)并固定安裝有把手，探針工作臺的一側(cè)固定安裝有固定塊，固定塊上開設有第二通孔，第二通孔內(nèi)滑動安裝有滑動桿，絲桿的頂部開設有卡槽，且滑動桿的底端與卡槽相卡裝，第二通孔的兩側(cè)內(nèi)壁上均開設有第二滑槽，滑動桿的兩側(cè)均固定安裝有第二滑塊，且兩個第二滑塊分別與相對應的第二滑槽滑動連接，第二滑塊的頂部固定安裝有限位彈簧，限位彈簧遠離第二滑塊的一端固定安裝于第二滑槽的頂部內(nèi)壁上。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動槽內(nèi)固定安裝有第一軸承的外圈，且絲桿與第一軸承的內(nèi)圈固定連接。

優(yōu)選的，所述第一通孔內(nèi)固定安裝有第二軸承的外圈，且絲桿與第二軸承的內(nèi)圈固定連接。

優(yōu)選的，所述卡槽的數(shù)量為多個，且多個卡槽環(huán)形等距離開設在絲桿上。

優(yōu)選的，所述第一滑塊的底端嵌裝有多個第一滾珠，且多個第一滾珠與第一滑槽滾動連接。

優(yōu)選的，兩個第二滑塊相互遠離的一端均嵌裝有多個第二滾珠，且多個第二滾珠分別與相對應的第二滑槽滾動連接。

本實用新型的有益效果：

通過探針工作臺、放置槽、探針卡裝置本體、第一滑槽、第一滑塊、轉(zhuǎn)動槽、螺紋通孔、第一通孔、絲桿和把手的相互配合下，能夠快速方便的對探針卡裝置本體進行移動，提升了其檢測效率，使其檢測更全面，轉(zhuǎn)動把手，把手帶動絲桿進行轉(zhuǎn)動，絲桿帶動第一滑塊進行移動，第一滑塊帶動探針卡裝置本體進行移動，通過固定塊、第二通孔、滑動桿、卡槽、第二滑槽、第二滑塊和限位彈簧的相互配合下，能夠快速方便的對把手進行固定，拉動滑動桿，滑動桿帶動第二滑塊進行移動，第二滑塊壓縮限位彈簧，限位彈簧吸能，使滑動桿移出卡槽內(nèi)，然后松開滑動桿，通過限位彈簧的彈簧回彈作用力下，使滑動桿卡入卡槽內(nèi)，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，可以快速方便的對探針卡裝置本體進行移動，提升了其檢測效率，使其檢測更全面，滿足了人們的需求。

附圖說明