[實用新型]一種用于退火爐的強對流風葉

有效

• 申請號: 201821303276.7
• 申請日: 2018-08-14
• 公開（公告）號: CN208920858U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 何小燈
• 申請（專利權）人: 江蘇亮亮電爐設備有限公司
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;F27D7/02;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種用于退火爐的強對流風葉，包括支撐板、冷風進風管、加熱箱和對流風葉本體，所述支撐板的內部設有冷風腔，冷風腔和支撐板右側面的冷風進風管相互連通，本實用新型對流風葉本體后方的支撐板內部設有冷風腔，中間轉軸上設有加熱箱，能夠根據實際需求選擇對流風葉進入的是熱風還是冷風，控制方便，結構簡單，本實用新型對流風葉本體固定焊接在連接卡套上，連接卡套固定在中間轉軸和固定套之間，且六組對流風葉本體卡合在固定套上與之相對應的對流風葉卡槽中，固定結構穩固，且便于拆裝，對流風葉本體為矩形板狀結構，便于清理，使用方便。

技術領域

本實用新型涉及退火爐技術領域，具體為一種用于退火爐的強對流風葉。

背景技術

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底，強對流風葉是退火爐中一種供對流使用的風葉，它在實際使用時存在以下弊端：

1.現有的對流風葉在實際使用時往往不能根據需求改變對流風的冷熱，適用范圍較小；

2.對流風葉在使用時表面容易粘附灰塵，由于風葉形狀不規則，不方便清理，使用不便。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于退火爐的強對流風葉，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于退火爐的強對流風葉，包括支撐板、冷風進風管、加熱箱和對流風葉本體，所述支撐板的內部設有冷風腔，冷風腔和支撐板右側面的冷風進風管相互連通，所述冷風腔和支撐板前側表面的冷風排出口相互連通設置，所述冷風排出口下方的冷風腔中設有六組與之相匹配的密封擋塊，六組密封擋塊的上表面通過一個半環狀的轉動環一體連接，所述支撐板的后方設有電機，電機的轉軸固定焊接在貫穿支撐板前側表面的加熱箱上，所述加熱箱的前端表面固定焊接有中間轉軸，中間轉軸上活動套設有固定套，所述固定套和中間轉軸之間留有間隙，固定套和中間轉軸之間的空隙處后端密封，前端開口，固定套上還設有六組呈圓環狀貫穿固定套前側表面的對流風葉卡槽，所述對流風葉卡槽中活動插合有對流風葉本體；

所述對流風葉本體呈矩形板狀結構，六組對流風葉卡槽上對應的六組對流風葉本體呈圓形陣列狀固定焊接在一個連接卡套上，連接卡套前端設有限位螺桿，所述加熱箱的前表面設有熱流出口，熱流出口和加熱箱內部的加熱腔相連通，加熱腔中設有電加熱絲，電加熱絲的兩端分別與加熱箱的內部的正極導線和負極導線之間電性連接，所述正極導線和負極導線遠離電加熱絲的端部均貫穿加熱箱的外圈處設置，且正極導線和負極導線貫穿加熱箱外圈處的一端固定焊接有環形的電性接觸環，且正極導線和負極導線上的電性接觸環分別貼合設在直流電池的正極接線和負極接線處，所述直流電池通過密封卡蓋卡合在支撐板內部的槽體中。

優選的，所述冷風排出口呈弧形槽體狀結構，冷風排出口設有六組，六組冷風排出口呈圓形陣列狀分布，且六組冷風排出口之間彼此相隔二十四度設置。

優選的，所述轉動環活動穿過支撐板表面的轉動槽設置，且轉動環活動穿過冷風排出口的中間位置。

優選的，所述連接卡套呈圓環狀結構，連接卡套活動套設在固定套和中間轉軸之間的空隙處。

優選的，所述限位螺桿同時貫穿中間轉軸和固定套設置，且限位螺桿貫穿固定套的兩端處均通過螺紋配合連接有限位螺母。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1.本實用新型對流風葉本體后方的支撐板內部設有冷風腔，中間轉軸上設有加熱箱，能夠根據實際需求選擇對流風葉進入的是熱風還是冷風，控制方便，結構簡單；