[實用新型]一種循環脈沖掃描軸向磁場發生裝置

有效

• 申請號: 201821297863.X
• 申請日: 2018-08-13
• 公開（公告）號: CN208803135U
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 陳大民;鄧超;王珍
• 申請（專利權）人: 東莞市典雅五金制品有限公司;大連納晶科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 東莞眾業知識產權代理事務所(普通合伙) 44371
• 代理人: 何恒韜

本實用新型公開一種循環脈沖掃描軸向磁場發生裝置，包括供電組件、電機、減速機、電樞組件和磁極，所述電機的輸出軸與減速機的輸入軸連接，所述電樞組件包括電樞體和電樞軸，所述減速機的輸出軸與電樞軸連接，所述電樞體周向裝設有多個第一電極，所述電樞軸上設有一個第二電極，所述磁極包括一支架和多個螺線管，所述支架軸向開設有多個容置槽，所述螺線管安裝于容置槽中，所述電樞軸與供電組件電連接，所述第一電極與螺線管的一端電連接，所述螺線管的另一端與供電組件電連接，所述第一電極與螺線管為一一對應關系。本實用新型所產生的電弧源磁場沒有干涉帶電粒子軸向運動力的外加雜力，使電弧斑運動更加改善，使所鍍膜層更為細膩。

技術領域

本實用新型涉及磁場發生設備技術領域，特別涉及一種循環脈沖掃描軸向磁場發生裝置。

背景技術

電弧真空離子鍍膜機作為真空涂層的生產設備，當前已經被廣泛應用到工業化生產中。所述電弧真空離子鍍膜機中通常設有磁場發生裝置，其能產生真空電弧源磁場用以改善電弧斑的運動軌跡和速度。

但傳統的磁場發生裝置中產生的電磁場均帶有徑向或周向磁場，這會損失了軸向離子通量，在這些磁場中制造的電弧陰極會導致鍍膜沉積速率損失達到30%-50%，并導致薄膜結合力下降，造成這一現象的原因是離子到達比下降導致刻蝕和轟擊加熱的損失及成膜能量的減少。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是，針對上述現有技術中的不足，提供一種循環脈沖掃描軸向磁場發生裝置，其產生的電弧源磁場沒有干涉帶電粒子軸向運動力的外加雜力，使電弧斑的運動更加改善，使所鍍膜層更為細膩。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是：

一種循環脈沖掃描軸向磁場發生裝置，包括供電組件、電機、減速機、電樞組件和磁極，所述電機的輸出軸與減速機的輸入軸連接，所述電樞組件包括電樞體和電樞軸，所述電樞軸轉動設置于電樞體內，所述減速機的輸出軸與電樞軸連接，所述電樞體周向裝設有多個第一電極，所述電樞軸上設有一個第二電極，所述第二電極隨電樞軸轉動，所述磁極包括一支架和多個螺線管，所述支架軸向開設有多個容置槽，所述螺線管安裝于容置槽中，且所述容置槽的軸線與螺線管的軸線相互疊合，所述螺線管與容置槽為一一對應關系，所述電樞軸與供電組件電連接，所述第一電極通過導線與螺線管的一端電連接，所述螺線管的另一端與供電組件電連接，所述第一電極與螺線管為一一對應關系。

作為一種優選方案，所述電樞組件還包括絕緣套筒、軸套和兩絕緣夾板，所述絕緣套筒和軸套設于電樞軸和電樞體之間，所述絕緣套筒套設于電樞軸外，所述軸套套設于絕緣套筒外，所述絕緣套筒和軸套的側壁開設有一夾槽，所述絕緣夾板和第二電極裝設于夾槽內，所述第二電極設于兩絕緣夾板之間。

作為一種優選方案，所述電樞組件還包括電樞殼和軸承，所述軸承套設于電樞軸的兩端，所述電樞殼包括外殼和端蓋，所述外殼套設于電樞體外，所述端蓋蓋設于外殼的兩側，所述端蓋套裝于軸承外，所述軸承與端蓋之間設有絕緣套。

作為一種優選方案，所述循環脈沖掃描軸向磁場發生裝置還包括環力彈簧，所述環力彈簧裝設于外殼和電樞體之間。

作為一種優選方案，所述循環脈沖掃描軸向磁場發生裝置還包括端部絕緣套筒，所述端部絕緣套筒套設于電樞體和軸套之間，且所述端部絕緣套筒的一側面與端蓋的內側面相抵，所述端部絕緣套筒的另一側面與第一電極的外側面相抵。

作為一種優選方案，所述供電組件包括電源、變壓器、電流表和電壓表，所述電流表的一端與電源的正極電連接，所述電流表的另一端與變壓器的一端電連接，所述變壓器的另一端與電樞組件/磁極電連接，所述電壓表與電流表和變壓器并聯，所述電源的負極與磁極/電樞組件電連接。

作為一種優選方案，所述第一電極的材質為銅，所述第二電極的材質為銅或石墨。