[實(shí)用新型]一種循環(huán)脈沖掃描軸向磁場發(fā)生裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821297863.X
• 申請日: 2018-08-13
• 公開（公告）號: CN208803135U
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳大民;鄧超;王珍
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市典雅五金制品有限公司;大連納晶科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 東莞眾業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44371
• 代理人: 何恒韜

本實(shí)用新型公開一種循環(huán)脈沖掃描軸向磁場發(fā)生裝置，包括供電組件、電機(jī)、減速機(jī)、電樞組件和磁極，所述電機(jī)的輸出軸與減速機(jī)的輸入軸連接，所述電樞組件包括電樞體和電樞軸，所述減速機(jī)的輸出軸與電樞軸連接，所述電樞體周向裝設(shè)有多個第一電極，所述電樞軸上設(shè)有一個第二電極，所述磁極包括一支架和多個螺線管，所述支架軸向開設(shè)有多個容置槽，所述螺線管安裝于容置槽中，所述電樞軸與供電組件電連接，所述第一電極與螺線管的一端電連接，所述螺線管的另一端與供電組件電連接，所述第一電極與螺線管為一一對應(yīng)關(guān)系。本實(shí)用新型所產(chǎn)生的電弧源磁場沒有干涉帶電粒子軸向運(yùn)動力的外加雜力，使電弧斑運(yùn)動更加改善，使所鍍膜層更為細(xì)膩。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及磁場發(fā)生設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種循環(huán)脈沖掃描軸向磁場發(fā)生裝置。

背景技術(shù)

電弧真空離子鍍膜機(jī)作為真空涂層的生產(chǎn)設(shè)備，當(dāng)前已經(jīng)被廣泛應(yīng)用到工業(yè)化生產(chǎn)中。所述電弧真空離子鍍膜機(jī)中通常設(shè)有磁場發(fā)生裝置，其能產(chǎn)生真空電弧源磁場用以改善電弧斑的運(yùn)動軌跡和速度。

但傳統(tǒng)的磁場發(fā)生裝置中產(chǎn)生的電磁場均帶有徑向或周向磁場，這會損失了軸向離子通量，在這些磁場中制造的電弧陰極會導(dǎo)致鍍膜沉積速率損失達(dá)到30%-50%，并導(dǎo)致薄膜結(jié)合力下降，造成這一現(xiàn)象的原因是離子到達(dá)比下降導(dǎo)致刻蝕和轟擊加熱的損失及成膜能量的減少。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是，針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種循環(huán)脈沖掃描軸向磁場發(fā)生裝置，其產(chǎn)生的電弧源磁場沒有干涉帶電粒子軸向運(yùn)動力的外加雜力，使電弧斑的運(yùn)動更加改善，使所鍍膜層更為細(xì)膩。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：

一種循環(huán)脈沖掃描軸向磁場發(fā)生裝置，包括供電組件、電機(jī)、減速機(jī)、電樞組件和磁極，所述電機(jī)的輸出軸與減速機(jī)的輸入軸連接，所述電樞組件包括電樞體和電樞軸，所述電樞軸轉(zhuǎn)動設(shè)置于電樞體內(nèi)，所述減速機(jī)的輸出軸與電樞軸連接，所述電樞體周向裝設(shè)有多個第一電極，所述電樞軸上設(shè)有一個第二電極，所述第二電極隨電樞軸轉(zhuǎn)動，所述磁極包括一支架和多個螺線管，所述支架軸向開設(shè)有多個容置槽，所述螺線管安裝于容置槽中，且所述容置槽的軸線與螺線管的軸線相互疊合，所述螺線管與容置槽為一一對應(yīng)關(guān)系，所述電樞軸與供電組件電連接，所述第一電極通過導(dǎo)線與螺線管的一端電連接，所述螺線管的另一端與供電組件電連接，所述第一電極與螺線管為一一對應(yīng)關(guān)系。

作為一種優(yōu)選方案，所述電樞組件還包括絕緣套筒、軸套和兩絕緣夾板，所述絕緣套筒和軸套設(shè)于電樞軸和電樞體之間，所述絕緣套筒套設(shè)于電樞軸外，所述軸套套設(shè)于絕緣套筒外，所述絕緣套筒和軸套的側(cè)壁開設(shè)有一夾槽，所述絕緣夾板和第二電極裝設(shè)于夾槽內(nèi)，所述第二電極設(shè)于兩絕緣夾板之間。

作為一種優(yōu)選方案，所述電樞組件還包括電樞殼和軸承，所述軸承套設(shè)于電樞軸的兩端，所述電樞殼包括外殼和端蓋，所述外殼套設(shè)于電樞體外，所述端蓋蓋設(shè)于外殼的兩側(cè)，所述端蓋套裝于軸承外，所述軸承與端蓋之間設(shè)有絕緣套。

作為一種優(yōu)選方案，所述循環(huán)脈沖掃描軸向磁場發(fā)生裝置還包括環(huán)力彈簧，所述環(huán)力彈簧裝設(shè)于外殼和電樞體之間。

作為一種優(yōu)選方案，所述循環(huán)脈沖掃描軸向磁場發(fā)生裝置還包括端部絕緣套筒，所述端部絕緣套筒套設(shè)于電樞體和軸套之間，且所述端部絕緣套筒的一側(cè)面與端蓋的內(nèi)側(cè)面相抵，所述端部絕緣套筒的另一側(cè)面與第一電極的外側(cè)面相抵。

作為一種優(yōu)選方案，所述供電組件包括電源、變壓器、電流表和電壓表，所述電流表的一端與電源的正極電連接，所述電流表的另一端與變壓器的一端電連接，所述變壓器的另一端與電樞組件/磁極電連接，所述電壓表與電流表和變壓器并聯(lián)，所述電源的負(fù)極與磁極/電樞組件電連接。

作為一種優(yōu)選方案，所述第一電極的材質(zhì)為銅，所述第二電極的材質(zhì)為銅或石墨。