[實(shí)用新型]用于沉積設(shè)備腔體的保養(yǎng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821285952.2
• 申請(qǐng)日: 2018-08-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208667898U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何文;薛超;吳龍江;林宗賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): C30B23/00
• 分類號(hào): C30B23/00;C30B25/00
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

該實(shí)用新型涉及一種用于沉積設(shè)備腔體的保養(yǎng)裝置，包括軌道以及腔體保養(yǎng)部；所述軌道固定連接至需保養(yǎng)的腔體的開(kāi)口處，且所述軌道的形狀與腔體的開(kāi)口處的形狀相適應(yīng)；并且所述腔體保養(yǎng)部設(shè)置在所述軌道上，可沿所述軌道運(yùn)動(dòng)，且所述腔體保養(yǎng)部包括一個(gè)或多個(gè)保養(yǎng)單元，所述保養(yǎng)單元伸入所述腔體的內(nèi)部，對(duì)所述腔體的內(nèi)部進(jìn)行保養(yǎng)。上述用于沉積設(shè)備腔體的保養(yǎng)裝置簡(jiǎn)單方便，功能齊全，節(jié)省了大量人力成本和時(shí)間成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體生產(chǎn)制造加工設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種用于沉積設(shè)備腔體的保養(yǎng)裝置。

背景技術(shù)

沉積設(shè)備在使用的過(guò)程中，需要按時(shí)程或按Wafer數(shù)量對(duì)機(jī)臺(tái)相應(yīng)的部位進(jìn)行保養(yǎng)，以保持機(jī)臺(tái)性能的穩(wěn)定，防止制程良率下降，延長(zhǎng)機(jī)臺(tái)的壽命。

對(duì)沉積設(shè)備的腔體的保養(yǎng)操作包括擦拭處理、噴淋處理和打磨處理，然而在現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)沉積設(shè)備的腔體進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)，通常需要借用人工，費(fèi)時(shí)費(fèi)力。

現(xiàn)在需要提供一種簡(jiǎn)單方便、功能全面、能節(jié)省時(shí)間成本和人力成本的用于沉積設(shè)備腔體的保養(yǎng)裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于沉積設(shè)備腔體的保養(yǎng)裝置，簡(jiǎn)單方便、功能全面、能節(jié)省時(shí)間成本和人力成本。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，以下提供了一種用于沉積設(shè)備腔體的保養(yǎng)裝置，包括軌道以及腔體保養(yǎng)部；所述軌道用于固定連接至需保養(yǎng)的腔體的開(kāi)口處，且所述軌道的形狀與開(kāi)口處的形狀相適應(yīng)；并且所述腔體保養(yǎng)部設(shè)置在所述軌道上，可沿所述軌道運(yùn)動(dòng)，且所述腔體保養(yǎng)部包括一個(gè)或多個(gè)保養(yǎng)單元，所述保養(yǎng)單元用于伸入所述腔體的內(nèi)部，對(duì)所述腔體的內(nèi)部進(jìn)行保養(yǎng)。

可選的，所述腔體保養(yǎng)部還包括承載器，設(shè)置到所述軌道上，所述承載器中包括運(yùn)動(dòng)模塊和控制模塊，且所述運(yùn)動(dòng)模塊和控制模塊互相連接，其中所述運(yùn)動(dòng)模塊設(shè)置于所述承載器底部，用于驅(qū)動(dòng)所述承載器沿所述軌道運(yùn)動(dòng)；所述控制模塊設(shè)置于所述承載器內(nèi)部，用于控制所述運(yùn)動(dòng)模塊；所述保養(yǎng)單元安裝至所述承載器，并與所述控制模塊相連接，由所述控制模塊控制所述保養(yǎng)單元對(duì)所述腔體的內(nèi)部的保養(yǎng)。

可選的，所述承載器還包括控制按鈕、記步模塊和顯示模塊，均連接至所述控制模塊，所述承載器底部還設(shè)置有承載器固定塊，所述運(yùn)動(dòng)模塊設(shè)置到承載器固定塊上，且所述控制按鈕用于供用戶設(shè)定所述承載器沿所述軌道運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)量；所述記步模塊設(shè)置在所述承載器底部，用于獲取所述承載器沿所述軌道已完成的運(yùn)動(dòng)量；所述顯示模塊用于顯示所述承載器沿所述軌道已完成的運(yùn)動(dòng)量，以及顯示所述承載器在所述軌道上被設(shè)定的運(yùn)動(dòng)量。

可選的，所述腔體保養(yǎng)部還包括裝置塊，通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸連接到所述承載器，且所述裝置塊可繞所述旋轉(zhuǎn)軸在垂直所述軌道的平面內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；所述保養(yǎng)單元安裝于所述裝置塊上。

可選的，所述保養(yǎng)單元包括擦拭單元、噴淋單元和打磨單元中的一種或多種。

可選的，所述擦拭單元包括無(wú)塵布承載塊，通過(guò)支撐桿連接到所述裝置塊，用于安裝無(wú)塵布。

可選的，所述噴淋單元包括噴淋頭、噴淋泵和噴淋液存儲(chǔ)器，三者通過(guò)噴淋管依次連接，且所述噴淋頭安裝至所述裝置塊上，可跟隨所述裝置塊相對(duì)于所述承載器發(fā)生旋轉(zhuǎn)，用于向所述腔體的內(nèi)部噴淋液體；所述噴淋泵安裝至所述承載器，與所述控制模塊相連接，用于在所述控制模塊的控制下抽取所述噴淋液存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的噴淋液，供所述噴淋頭噴淋；所述噴淋液存儲(chǔ)器安裝至所述承載器，用于存儲(chǔ)待噴淋的噴淋液。

可選的，所述打磨單元包括打磨頭和打磨動(dòng)力馬達(dá)，其中所述打磨頭設(shè)置在所述裝置塊上，用于對(duì)所述腔體的內(nèi)部進(jìn)行打磨；所述打磨動(dòng)力馬達(dá)也設(shè)置在裝置塊上，且所述打磨動(dòng)力馬達(dá)的輸入端連接至所述控制模塊，輸出端連接至所述打磨頭，用于驅(qū)動(dòng)所述打磨頭對(duì)腔體內(nèi)部進(jìn)行打磨。