[實用新型]CVD化學(xué)蒸汽沉積爐用加熱電源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821285895.8
• 申請日: 2018-08-09
• 公開（公告）號: CN208857361U
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐浩;周芳;薛辰斌;許鈴;黃佳鋒;徐鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰市天馬電源制造有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46
• 代理公司: 北京權(quán)智天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11638
• 代理人: 王新愛

1.一種CVD化學(xué)蒸汽沉積爐用加熱電源，其特征在于：所述電源包含有機(jī)體外框架(101)，所述機(jī)體外框架(101)的左右兩側(cè)分別豎向設(shè)置有兩塊豎向安裝板(102)，且豎向安裝板(102)的內(nèi)壁上由下往上平行設(shè)置有多組導(dǎo)向組件(103)，每個導(dǎo)向組件(103)包含有兩條水平設(shè)置的導(dǎo)軌，電源模塊(104)的兩側(cè)滑動安裝于導(dǎo)向組件(103)的導(dǎo)軌上，且機(jī)體外框架(101)的底部安裝有總空氣開關(guān)(105)，所述總空氣開關(guān)(105)位于電源模塊(104)的下方，電纜進(jìn)線經(jīng)機(jī)體外框架(101)底部的進(jìn)線孔進(jìn)入后連接至總空氣開關(guān)(105)的進(jìn)線端，所述總空氣開關(guān)(105)的出線端連接至豎向設(shè)置的進(jìn)線總銅排(108)，進(jìn)線總銅排(108)經(jīng)多個連接片分別連接至多個電源模塊(104)的進(jìn)線端子(3)上，電源模塊(104)的出線銅排(4)連接至豎向設(shè)置的出線總銅排(109)，且電源模塊(104)內(nèi)設(shè)置有水冷組件(2)；

所述電源模塊(104)包含有殼體(1)，水冷組件(2)安裝于殼體(1)內(nèi)；所述殼體(1)的背板上設(shè)置有進(jìn)水端子安裝孔(1.1)和出水端子安裝孔(1.2)，所述水冷組件(2)包含有水冷鋁板(2.1)，所述水冷鋁板(2.1)內(nèi)設(shè)置有冷卻水道，該冷卻水道的兩個開口端上分別插置有進(jìn)水端子(2.2)和出水端子(2.3)，且進(jìn)水端子(2.2)和出水端子(2.3)分別嵌置于進(jìn)水端子安裝孔(1.1)和出水端子安裝孔(1.2)內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述一種CVD化學(xué)蒸汽沉積爐用加熱電源，其特征在于：所述殼體(1)的兩塊側(cè)板內(nèi)壁上均設(shè)置有擱置條(1.3)，一擱置條(1.3)上設(shè)置有定位塊(1.4)；所述水冷鋁板(2.1)的一側(cè)邊上向內(nèi)凹陷形成有定位豁口(2.1.1)，所述水冷鋁板(2.1)的兩個擱置在擱置條(1.3)上，且上述定位塊(1.4)嵌置于定位豁口(2.1.1)內(nèi)。

3.如權(quán)利要求1所述一種CVD化學(xué)蒸汽沉積爐用加熱電源，其特征在于：所述水冷鋁板(2.1)的四個角上設(shè)置有固定孔(2.1.2)，固定螺栓穿過固定孔(2.1.2)后旋置于擱置條(1.3)內(nèi)，所述水冷鋁板(2.1)上設(shè)置有多個安裝孔(2.1.3)。

4.如權(quán)利要求1所述一種CVD化學(xué)蒸汽沉積爐用加熱電源，其特征在于：所述機(jī)體外框架(101)內(nèi)豎向設(shè)置有進(jìn)水管(106)和出水管(107)，所述進(jìn)水管(106)的進(jìn)水接頭安裝于機(jī)體外框架(101)的下部，所述進(jìn)水管(106)經(jīng)多個分支進(jìn)水管連通至電源模塊(104)內(nèi)的水冷組件(2)的進(jìn)水端子(2.2)上，所述出水管(107)的出水接頭安裝于機(jī)體外框架(101)的上部，且電源模塊(104)的水冷組件(2)的出水端子(2.3)經(jīng)分支出水管連通至出水管(107)。

5.如權(quán)利要求4所述一種CVD化學(xué)蒸汽沉積爐用加熱電源，其特征在于：所述進(jìn)水管(106)、出水管(107)、進(jìn)線總銅排(108)和出線總銅排(109)均靠近機(jī)體外框架(101)背板，且機(jī)體外框架(101)的背上豎向安裝有一隔離板(110)，所述進(jìn)水管(106)和出水管(107)位于隔離板(110)的一側(cè)，所述進(jìn)線總銅排(108)和出線總銅排(109)位于隔離板(110)的另一側(cè)。

6.如權(quán)利要求3所述一種CVD化學(xué)蒸汽沉積爐用加熱電源，其特征在于：變壓器和控制線路板通過安裝孔(2.1.3)安裝于水冷鋁板(2.1)上。

7.如權(quán)利要求1所述一種CVD化學(xué)蒸汽沉積爐用加熱電源，其特征在于：所述殼體(1)上安裝有多條走線條(5)，所述走線條(5)的頂面上沿其長度方向設(shè)置有走線槽，所述走線槽的兩側(cè)槽壁上分別設(shè)置有多個捆扎槽。