[實用新型]乙硅烷的制備裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821282840.1
• 申請日: 2018-08-09
• 公開（公告）號: CN208700586U
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬燁;劉見華;嚴大洲;趙雄;郭樹虎;趙宇
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽中硅高科技有限公司;中國恩菲工程技術(shù)有限公司
• 主分類號: C01B33/04
• 分類號: C01B33/04
• 代理公司: 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 吳婭妮;于寶慶

本實用新型一實施方式提供了一種乙硅烷的制備裝置，包括過濾單元、第一精餾塔、第二精餾塔和反應(yīng)器；其中，所述第一精餾塔與所述過濾單元相連，所述第二精餾塔與所述第一精餾塔相連，所述反應(yīng)器與所述第二精餾塔相連。本實用新型一實施方式的裝置，以多晶硅殘液為原料，可制備出滿足半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的高純乙硅烷。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及乙硅烷的制備裝置，具體為一種可制備滿足半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的高純乙硅烷的制備裝置。

背景技術(shù)

乙硅烷主要用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長、化學(xué)氣相沉積等方面。作為沉積源時，沉積層為氧化硅或氮化硅，與硅烷相比，乙硅烷具有沉積速度更快、沉積溫度更低的特點，可防止無定型硅中產(chǎn)生球狀凸起，能夠提高沉積成的均一性，主要使用在20納米以下高端芯片的制造。

在太陽能電池生產(chǎn)中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多，且溫度可降低200～300℃；在離子注入中，以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強，效果明顯好于用其他氣體作離子源；在半導(dǎo)體工藝中用于外延和擴散工藝，也用于太陽能電池和電子照相用的感光鼓；使用乙硅烷時，可以采用價格較低的玻璃來取代昂貴的石英玻璃作LCD的基材。

目前，乙硅烷的制備主要有氯代乙硅烷還原法和硅化鎂與氯化銨反應(yīng)合成兩種方法。其中，氯代乙硅烷還原法為氫化鋁鋰或氫化鋁鈉等絡(luò)合金屬氫化物還原氯代乙硅烷烷制備出乙硅烷，但該方法中，氯代乙硅烷需要進行單獨合成，合成難度大且產(chǎn)率低。

而硅化鎂與氯化銨反應(yīng)法為硅化鎂與氯化銨進行反應(yīng)產(chǎn)生乙硅烷，但是過程中產(chǎn)品主要為硅烷，乙硅烷占比僅在3％左右，是作為副產(chǎn)物進行回收的，因此主要通過控制副產(chǎn)物的產(chǎn)率來提高乙硅烷產(chǎn)量，限制了該方法將乙硅烷作為主產(chǎn)品進行生產(chǎn)的可行性。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的一個主要目的在提供一種乙硅烷的制備裝置，包括過濾單元、第一精餾塔、第二精餾塔和反應(yīng)器；其中，所述第一精餾塔與所述過濾單元相連，所述第二精餾塔與所述第一精餾塔相連，所述反應(yīng)器與所述第二精餾塔相連。

根據(jù)本實用新型一實施方式，所述過濾單元包括一個或多個過濾器。

根據(jù)本實用新型一實施方式，所述反應(yīng)器為微通道反應(yīng)器。

根據(jù)本實用新型一實施方式，所述第一精餾塔通過塔頂與所述第二精餾塔相連，所述第二精餾塔通過塔釜與所述反應(yīng)器相連。

根據(jù)本實用新型一實施方式，還包括依次相連的第三精餾塔、第四精餾塔和第五精餾塔，所述第三精餾塔與所述反應(yīng)器相連。

根據(jù)本實用新型一實施方式，所述反應(yīng)器通過頂部與所述第三精餾塔相連，所述第三精餾塔通過塔頂與所述第四精餾塔相連，所述第四精餾塔通過塔釜與所述第五精餾塔相連。

根據(jù)本實用新型一實施方式，還包括雜質(zhì)收集器，所述雜質(zhì)收集器分別與所述第一精餾塔的塔釜、所述第二精餾塔的塔頂、所述第三精餾塔的塔釜、所述第四精餾塔的塔頂及所述第五精餾塔的塔頂相連。

根據(jù)本實用新型一實施方式，還包括與所述第五精餾塔相連的吸附單元。

根據(jù)本實用新型一實施方式，所述第五精餾塔通過塔釜與所述吸附單元相連

根據(jù)本實用新型一實施方式，所述吸附單元包括一個或多個吸附器。

本實用新型一實施方式的裝置，以多晶硅殘液為原料，可制備出滿足半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的高純乙硅烷。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施方式的乙硅烷的制備裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型一實施方式的制備乙硅烷的流程圖。

具體實施方式