[實用新型]一種用于無掩膜光刻機的安全互鎖裝置

有效

• 申請號: 201821281981.1
• 申請日: 2018-08-09
• 公開（公告）號: CN208537967U
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: 魏云飛
• 申請（專利權）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號: G05B19/05
• 分類號: G05B19/05;G03F7/20
• 代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115
• 代理人: 奚華保

本實用新型涉及一種用于無掩膜光刻機的安全互鎖裝置，包括PLC控制器、感應裝置、繼電器組和執行部件，所述PLC控制器的供電接口24VDC與感應裝置的供電接口24VDC連接，PLC控制器的數字量輸入接口DI_1與感應裝置的觸發輸出接口OUT連接，PLC控制器的第一數字量輸出接口DO_1、第二數字量輸出接口DO_2、第三數字量輸出接口DO_3均與繼電器組的控制端連接，繼電器組的輸出端與執行部件的控制端連接。本實用新型能夠有效防止設備因移動平臺而造成的人身傷害，可避免設備工作時強激光外泄而傷害到人眼，設備具有較高等級的安全防護功能，便于設備通過相關安全認證。

技術領域

本實用新型涉及無掩模光刻技術領域，尤其是一種用于無掩膜光刻機的安全互鎖裝置。

背景技術

無掩模光刻技術廣泛應用于芯片加工領域，屬于芯片制造過程中最為精密的工藝技術。由于進口的無掩模光刻機大都價格昂貴，所以越來越多的客戶開始使用國產系列光刻機，現階段很多國產光刻機性價比甚至高于了進口設備。但是國產光刻機更多的是關注功能參數，而忽略了很多基礎功能，很多設備上沒有安裝安全互鎖裝置，內部運動平臺、激光等都存在危害人身安全的風險。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種具有保護人身安全作用的用于無掩膜光刻機的安全互鎖裝置。

為實現上述目的，本實用新型采用了以下技術方案：一種用于無掩膜光刻機的安全互鎖裝置，包括PLC控制器、感應裝置、繼電器組和執行部件，所述PLC控制器的供電接口24VDC與感應裝置的供電接口24VDC連接，PLC控制器的數字量輸入接口DI_1與感應裝置的觸發輸出接口OUT連接，PLC控制器的第一數字量輸出接口DO_1、第二數字量輸出接口DO_2、第三數字量輸出接口DO_3均與繼電器組的控制端連接，繼電器組的輸出端與執行部件的控制端連接。

所述感應裝置采用NPN型接近傳感器，其上設有感應探頭。

所述繼電器組包括第一繼電器RL1、第二繼電器RL2和第三繼電器RL3，所述執行部件包括報警指示燈LED、蜂鳴器BEEP和平臺/激光器組件，所述PLC控制器的第一數字量輸出接口DO_1與第一繼電器RL1的1腳連接，PLC控制器的第二數字量輸出接口DO_2與第二繼電器RL2的1腳連接，PLC控制器的第三數字量輸出接口DO_3與第三繼電器RL3的1腳連接，第一繼電器RL1的2腳接地，第一繼電器RL1的5腳接24VDC電源，第一繼電器RL1的3腳與報警指示燈LED的一端連接，報警指示燈LED的另一端接地，第二繼電器RL2的2腳接地，第二繼電器RL2的5腳接24VDC電源，第二繼電器RL2的3腳與蜂鳴器BEEP的一端連接，蜂鳴器BEEP的另一端接地，第三繼電器RL3的2腳接地，第三繼電器RL3的5腳接220VAC電源，第三繼電器RL3的3腳與平臺/激光器組件連接。

由上述技術方案可知，本實用新型的有益效果為：本實用新型能夠有效防止設備因移動平臺而造成的人身傷害，可避免設備工作時強激光外泄而傷害到人眼，設備具有較高等級的安全防護功能，便于設備通過相關安全認證。

附圖說明

圖1為本實用新型的裝置原理框圖。

具體實施方式

如圖1所示，一種用于無掩膜光刻機的安全互鎖裝置，包括PLC控制器1、感應裝置2、繼電器組3和執行部件4，所述PLC控制器1的供電接口24VDC與感應裝置2的供電接口24VDC連接，PLC控制器1的數字量輸入接口DI_1與感應裝置2的觸發輸出接口OUT連接，PLC控制器1的第一數字量輸出接口DO_1、第二數字量輸出接口DO_2、第三數字量輸出接口DO_3均與繼電器組3的控制端連接，繼電器組3的輸出端與執行部件4的控制端連接。所述PLC控制器的品牌是德國WGAO，CPU型號為750-881，所述感應裝置2采用NPN型接近傳感器，其上設有感應探頭2a。