[實用新型]一種具有三維結構表面的熱陰極有效
| 申請號： | 201821277891.5 | 申請日： | 2018-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN208655562U | 公開（公告）日： | 2019-03-26 |
| 發明（設計）人： | 郝廣輝;邵文生;張珂;李澤鵬 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第十二研究所 |
| 主分類號： | H01J1/13 | 分類號： | H01J1/13;H01J9/04 |
| 代理公司： | 北京正理專利代理有限公司 11257 | 代理人： | 張雪梅 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱陰極 多孔鎢 三維結構表面 本實用新型 浸漬 陰極 真空微波器件 元器件技術 凹陷結構 發射表面 規則排列 貴重金屬 陰極電子 有效面積 發射 電子源 基表面 鋁酸鹽 開槽 薄膜 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有三維結構表面的熱陰極，包括浸漬鋁酸鹽的多孔鎢基和形成于多孔鎢基表面的貴重金屬薄膜，其特征在于，所述多孔鎢基的發射表面開槽形成規則排列的凹陷結構。
2.根據權利要求1所述的熱陰極，其特征在于，所述凹陷結構包括若干V型溝道。
3.根據權利要求2所述的熱陰極，其特征在于，所述溝道的上部寬度為5～50μm，深度為5～100μm，間距為5～100μm。
4.根據權利要求2所述的熱陰極，其特征在于，所述溝道單向排列或相互交叉排列。
5.根據權利要求1所述的熱陰極，其特征在于，所述多孔鎢基的孔隙度為20％～30％。
6.根據權利要求1所述的熱陰極，其特征在于，所述貴重金屬薄膜厚度為0～2μm。
7.根據權利要求1所述的熱陰極，其特征在于，所述貴重金屬材料為鋨、鋨-錸合金、鋨-釕合金或鋨-銥-鋁合金。
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