[實用新型]一種真空設備風冷散熱裝置

有效

• 申請號: 201821273183.4
• 申請日: 2018-08-08
• 公開（公告）號: CN208445928U
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發明（設計）人: 周興寶
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技（北京）有限公司
• 主分類號: H05K7/20
• 分類號: H05K7/20
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 王立民;周放

本實用新型公開了一種真空設備風冷散熱裝置，包括真空腔室、密封散熱腔室、中空管路和散熱氣體輸入管，所述密封散熱腔室設于所述真空腔室內，所述中空管路和所述散熱氣體輸入管均一端與所述真空腔室的外側連通，另一端與所述密封散熱腔室連通，所述中空管路套設在所述散熱氣體輸入管上，所述中空管路的內徑大于所述散熱氣體輸入管的外徑；本實用新型的真空設備風冷散熱裝置通過中空管路和散熱氣體輸入管向密封散熱腔室內輸入散熱氣體，通過散熱氣體在密封散熱腔室內循環流動，將密封散熱腔室內的多余熱量帶走，與現有技術相比，本實用新型可以對密封散熱腔室進行有效降溫，保證各功能模塊和部件的良好工作性能。

技術領域

本實用新型涉及光伏制備技術領域，特別是一種真空設備風冷散熱裝置。

背景技術

在物理及化學氣相沉積的真空設備中，為了滿足特定需求，內部需要添加一些功能模塊，這些功能模塊一般通過電驅動部件為其提供動力。

但是在真空環境下，這些功能模塊和電驅動部件無法通過熱傳導和熱交換進行散熱，在溫度過高的情況下，功能模塊和電驅動部件的工作性能可能就會受影響，性能降低或者甚至無法工作。

針對上述情況，為了解決真空環境下的散熱問題，有必要提供一種真空設備風冷散熱裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種真空設備風冷散熱裝置，以解決現有技術中的技術問題，它能夠通過風冷散熱帶走真空設備內的多余熱量，保證各部件處于合適的溫度范圍內。

為了實現上述目的，本實用新型提供了如下的技術方案：

一種真空設備風冷散熱裝置，包括真空腔室、密封散熱腔室、中空管路和散熱氣體輸入管，所述密封散熱腔室設于所述真空腔室內，所述中空管路和所述散熱氣體輸入管均一端與所述真空腔室的外側連通，另一端與所述密封散熱腔室連通，所述中空管路套設在所述散熱氣體輸入管上，所述中空管路的內徑大于所述散熱氣體輸入管的外徑。

優選地，所述中空管路通過第一密封部件與所述真空腔室的壁面連接，通過第二密封部件與所述密封散熱腔室的壁面連接。

優選地，還包括氣源裝置，所述散熱氣體輸入管與所述氣源裝置的出口連接。

優選地，所述密封散熱腔室內設有待散熱部件，所述散熱氣體輸入管伸至所述待散熱部件遠離所述散熱氣體輸入管入口的邊緣外側。

優選地，所述密封散熱腔室內設有壓力傳感器和溫度傳感器，所述散熱氣體輸入管上設有氣體流量調節閥。

優選地，所述散熱氣體輸入管為L形管，包括水平段和豎直段，所述豎直段的所述散熱氣體輸入管上設有氣孔。

優選地，所述中空管路為連續凹凸狀結構。

優選地，所述散熱氣體輸入管的入口設有干燥盒。

本實用新型的有益效果在于：

本實用新型提供了一種真空設備風冷散熱裝置，包括真空腔室、密封散熱腔室、中空管路和散熱氣體輸入管，所述密封散熱腔室設于所述真空腔室內，所述中空管路和所述散熱氣體輸入管均一端與所述真空腔室的外側連通，另一端與所述密封散熱腔室連通，所述中空管路套設在所述散熱氣體輸入管上，所述中空管路的內徑大于所述散熱氣體輸入管的外徑；本實用新型的真空設備風冷散熱裝置通過中空管路和散熱氣體輸入管向密封散熱腔室內輸入散熱氣體，通過散熱氣體在密封散熱腔室內循環流動，將密封散熱腔室內的多余熱量帶走，與現有技術相比，本實用新型可以有效降低密封散熱腔室內的溫度，保證密封散熱腔室的溫度處于合適范圍，保證各功能模塊和部件的良好工作性能。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的真空設備風冷散熱裝置的結構示意圖。

附圖標記說明：