[實用新型]真空泵

有效

• 申請號: 201821270679.6
• 申請日: 2018-08-07
• 公開（公告）號: CN208669594U
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 王磊;周冬成;吳宗祐;林宗賢
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C29/00;F04C29/04
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;陳麗麗

1.一種真空泵，包括外殼以及位于所述外殼上且用于與反應腔室連通的進氣口，其特征在于，還包括控制器以及位于由所述外殼圍繞而成的腔體內的管道；所述管道用于將吹掃氣體自外界傳輸至所述腔體內；所述控制器連接所述管道，用于判斷用戶是否發出進行真空泵維護的指令，若是，則關閉所述進氣口、并在保持對所述腔體加熱的同時控制所述吹掃氣體自所述管道上的開口噴出，以排除所述腔體內殘留的反應腔室生成物。

2.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于，還包括位于所述腔體內的轉子；所述控制器連接所述轉子，用于在用戶發出進行真空泵維護的指令后控制所述轉子以預設轉速轉動。

3.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于，還包括輸入組件；所述輸入組件位于所述外殼表面，連接所述控制器，用于接收用戶發出的真空泵維護的指令。

4.根據權利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述輸入組件為設置于所述外殼上的物理按鍵或位于所述外殼上的顯示屏中顯示的虛擬按鍵。

5.根據權利要求3所述的真空泵，其特征在于，還包括保護組件；所述保護組件連接所述輸入組件，用于接收用戶輸入的密碼；所述控制器連接所述保護組件，用于判斷用戶輸入的密碼是否正確，若是，則確認用戶發出進行真空泵維護的指令。

6.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于，還包括加熱器；所述加熱器包覆于所述管道表面，用于對所述管道加熱，以提高所述管道內所述吹掃氣體的溫度。

7.根據權利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述加熱器包括包覆于所述管道外表面的電熱絲；所述控制器連接所述電熱絲，用于控制流經所述電熱絲的電流，以調整所述管道內所述吹掃氣體的溫度。

8.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述吹掃氣體為氮氣。

9.根據權利要求1所述的真空泵，其特征在于，還包括位于所述外殼上的排氣口，所述吹掃氣體將所述反應腔室生成物經所述排氣口吹掃出所述腔體。

10.根據權利要求2所述的真空泵，其特征在于，還包括位于所述進氣口處的傳感器以及位于所述外殼表面的指示器；所述傳感器連接所述指示器，用于檢測所述轉子是否處于轉動狀態，若是，則控制所述指示器顯示所述轉子處于轉動狀態。