[實用新型]一種潔凈室有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821266745.2 | 申請日： | 2018-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN208887023U | 公開（公告）日： | 2019-05-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 楊政諭 | 申請（專利權(quán)）人： | 亞翔系統(tǒng)集成科技（蘇州）股份有限公司 |
| 主分類號： | F24F7/06 | 分類號： | F24F7/06;G01N17/00 |
| 代理公司： | 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陸金星;姚惠菱 |
| 地址： | 215000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 送風(fēng)機構(gòu) 腐蝕性氣體 試片 腐蝕 潔凈空間 送風(fēng)通道 檢測 本實用新型 潔凈室 天花板 機臺 電性能參數(shù) 試片接觸 通道結(jié)構(gòu) 全面性 復(fù)數(shù) 污染 | ||
1.一種潔凈室，包括潔凈空間（1）和天花板（2），所述天花板（2）上設(shè)有復(fù)數(shù)個送風(fēng)機構(gòu)（3）；所述送風(fēng)機構(gòu)（3）的內(nèi)部具有送風(fēng)通道，
其特征在于：還設(shè)有與所述送風(fēng)機構(gòu)（3）的送風(fēng)通道一一對應(yīng)的檢測機構(gòu)，所述檢測機構(gòu)包括與流經(jīng)其所對應(yīng)送風(fēng)通道的腐蝕性氣體接觸的腐蝕試片（4）和檢測所述腐蝕試片（4）電性能參數(shù)的檢測單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于，所述復(fù)數(shù)個送風(fēng)機構(gòu)（3）密布于所述潔凈空間（1）的上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于，所述腐蝕試片（4）為待測電阻，所述檢測單元為測電阻電路。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的潔凈室，其特征在于，所述腐蝕試片（4）和所述檢測單元組成惠斯通電橋測電阻電路，所述腐蝕試片（4）作為所述惠斯通電橋測電阻電路的待測電阻。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的潔凈室，其特征在于，所述腐蝕試片（4）和所述檢測單元組成伏安法測電阻電路，所述腐蝕試片（4）作為所述伏安法測電阻電路的待測電阻。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于，所述腐蝕試片（4）設(shè)于所述送風(fēng)機構(gòu)的氣流輸入側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于，所述送風(fēng)通道中設(shè)有驅(qū)動氣流流經(jīng)所述送風(fēng)通道的風(fēng)機單元和對流經(jīng)所述送風(fēng)通道的氣流進行過濾的過濾單元，所述送風(fēng)機構(gòu)的風(fēng)機單元與所述檢測機構(gòu)的檢測單元共用同一單片機。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于，所述送風(fēng)機構(gòu)（3）為FFU裝置，或者所述送風(fēng)機構(gòu)（3）包括FFU裝置和化學(xué)過濾器。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的潔凈室，其特征在于，所述腐蝕試片（4）與所述FFU裝置模塊化設(shè)置，或者所述腐蝕試片（4）與所述化學(xué)過濾器模塊化設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于，所述腐蝕試片（4）為鐵片、銅片、銀片或半導(dǎo)體。
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