[實用新型]一種薄膜太陽能電池制備設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821243321.4 | 申請日： | 2018-08-01 |
| 公開（公告）號： | CN208955007U | 公開（公告）日： | 2019-06-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張沖;王雪戈 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京智晨知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11584 | 代理人： | 張婧 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 薄膜太陽能電池 樣品傳送 本實用新型 制備設(shè)備 樣品轉(zhuǎn)移裝置 膜層沉積 太陽能電池技術(shù) 時間成本 真空連接 氧氣 室內(nèi) 生產(chǎn) | ||
1.一種薄膜太陽能電池制備設(shè)備，其特征在于，包括樣品傳送室、分別與所述樣品傳送室真空連接的多個膜層沉積室、以及至少部分設(shè)置于所述樣品傳送室內(nèi)的樣品轉(zhuǎn)移裝置，所述樣品轉(zhuǎn)移裝置在所述樣品傳送室與各個膜層沉積室之間轉(zhuǎn)移樣品；
所述樣品轉(zhuǎn)移裝置包括設(shè)置于所述樣品傳送室內(nèi)的傳送帶、設(shè)置在傳送帶上并用于承載樣品的樣品架、以及與所述樣品傳送室相連的可伸縮機械臂；
所述可伸縮機械臂為多個，多個所述可伸縮機械臂與所述多個膜層沉積室一一對應(yīng)并相互正對設(shè)置；
所述樣品轉(zhuǎn)移裝置還包括設(shè)置于所述可伸縮機械臂上的紅外探測器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池制備設(shè)備，其特征在于，所述樣品傳送室與各所述膜層沉積室之間均安裝有隔離閥板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池制備設(shè)備，其特征在于，至少一個所述膜層沉積室上設(shè)有放氣裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池制備設(shè)備，其特征在于，所述多個膜層沉積室包括Mo濺射室、CIGS蒸發(fā)室、Zn(O，S)沉積室、TCO濺射室、Al&Ni蒸發(fā)室以及MgF2蒸發(fā)室。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
