[實用新型]基板的乘載臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821234687.5 | 申請日: | 2018-08-01 |
| 公開(公告)號: | CN208880373U | 公開(公告)日: | 2019-05-21 |
| 發(fā)明(設計)人: | 白井明 | 申請(專利權)人: | 白井科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B24B9/06 | 分類號: | B24B9/06;B24B41/06;B28D1/22;B28D7/04 |
| 代理公司: | 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11139 | 代理人: | 孫皓晨;李林 |
| 地址: | 日本國大阪府東*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 棒材 進退移動裝置 升降裝置 小型基板 旋轉桌臺 基板 升降 本實用新型 空氣噴出孔 并列位置 并行排列 單獨移動 解決裝置 面積相異 噴出 吸孔 載臺 座臺 | ||
1.一種基板的乘載臺,其特征是包括:
水平的座臺;
支柱,由上述座臺的上面中央立起并通過旋轉裝置旋轉;
附抽吸裝置的旋轉桌臺,上述抽吸裝置保持供給基板的中心下面,上述供給基板設置于上述支柱上端;
中心側、中間側、外側的并列棒材,是在上述支柱兩側并以并列復數(shù)條為一組,且由上述支柱側中央兩側往兩端突出的長度以中心側、中間側、外側依序增長;
空氣噴出孔群,設置于上述中心側及中間側棒材的上述基板的乘載面;
空氣噴出兼吸孔群,設置于上述外側棒材的上述基板的乘載面;
腳材,由上述兩外側棒材兩端往下方突出;
第1滑軌,與設置于上述腳材下端的第1滑件自由滑動地卡合,并以在上述座臺上橫切上述外側棒材的方式設置;
第1升降裝置,是在上述中間側棒材兩端連接上端;
第2滑軌,與設置于上述第1升降裝置下端的第2滑件自由滑動地卡合,并以在上述座臺上橫切上述中間側棒材的方式設置;
第2升降裝置,是在上述中心側棒材兩端連接上端;
第3滑軌,與設置于上述第2升降裝置下端的第3滑件自由滑動地卡合,并以在上述座臺橫切上述中心側棒材的方式設置;
第1進退移動裝置,以使上述兩外側棒材在接近、分離方向滑動的方式設置;
第2進退移動裝置,以使上述兩中間側棒材在接近、分離方向滑動的方式設置;及
第3進退移動裝置,以使上述兩中心側棒材在接近、分離方向滑動的方式設置。
2.如權利要求1所述的基板的乘載臺,其特征在于:憑借移動導引裝置而以在棒材長方向進退移動的方式導引前述座臺,并憑借移動裝置使上述座臺進退移動,又設置有研磨旋轉砥石,上述研磨旋轉砥石能夠憑借調整裝置調整前述座臺的移動路兩側的左右對向間隔,且可憑借升降裝置在上下方向升降。
3.如權利要求1所述的基板的乘載臺,其特征在于:憑借移動導引裝置而以在棒材長方向進退移動的方式導引前述座臺,并憑借移動裝置使前述座臺進退移動,設置橫切于上述移動導引裝置上方的水平框,使滑件自由滑動地卡合于滑軌,上述滑軌設置于上述水平框兩端間,并設置使上述滑件來回移動的移動裝置,并在上述滑件設置通過升降裝置升降的切劃切割器。
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