[實用新型]一種減少擴散補償氮用量的擴散爐尾氣管裝置有效

申請號：	201821226200.9	申請日：	2018-08-01
公開（公告）號：	CN208507709U	公開（公告）日：	2019-02-15
發明（設計）人：	陳磊;蔣文杰;金雷	申請（專利權）人：	鹽城天合國能光伏科技有限公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18;H01L21/67;H01L21/22
代理公司：	南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249	代理人：	唐紹焜
地址：	224000 江蘇省鹽***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	尾氣管外圍擴散爐抽力酸排本實用新型氮用量加裝恒定擴散步驟氣體負壓作用管內壓力氣體流量微量補償抽負壓耗氮量內壓力穩定管管內削減平衡優化
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【權利要求書】：

1.一種減少擴散補償氮用量的擴散爐尾氣管裝置，其特征在于：包括外圍酸排通道、擴散爐的尾氣管以及在所述外圍酸排通道與所述尾氣管連接處加裝的外圍抽力裝置。

2.根據權利要求1所述的擴散爐尾氣管裝置，其特征在于：在所述尾氣管末端安裝有用于檢測尾氣管的氣體壓力的尾氣壓力檢測裝置，在所述外圍酸排通道進口處安裝有用于檢測外圍酸排抽力的外圍壓力檢測裝置；在所述外圍抽力裝置上設有處理器，所述處理器分別與所述尾氣管末端安裝的尾氣壓力檢測裝置和所述外圍酸排通道進口處安裝的外圍壓力檢測裝置連接，并接收其檢測得到的尾氣管的氣體壓力和外圍酸排抽力，并進行計算得到需調節的外圍抽負壓大小；所述處理器與所述外圍抽力裝置的電機連接，并根據其計算得到的需調節的外圍抽負壓大小調節電機工作，進而調節外圍抽負壓大小，使得外圍抽力等于尾氣管抽力。

3.根據權利要求1所述的擴散爐尾氣管裝置，其特征在于：所述處理器設有無線通信模塊，所述處理器通過所述無線通信模塊與后臺的監控計算機連接。

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