[實(shí)用新型]一種石墨舟清洗運(yùn)載裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821223118.0
• 申請(qǐng)日: 2018-07-31
• 公開（公告）號(hào): CN208758185U
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 左國軍;丁力
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/08
• 分類號(hào): B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽

本實(shí)用新型公開了一種石墨舟清洗運(yùn)載裝置，其包括：清洗槽、設(shè)有該清洗槽操作端內(nèi)壁面的卡槽；還包括位于所述清洗槽底部的平板車，與該平板車一端鉸接的雙拉桿，該雙拉桿的頭部設(shè)有卡勾，當(dāng)該雙拉桿放平時(shí)，所述的卡勾與所述的卡槽卡合。本實(shí)用新型在清洗槽用作載具，一次可以清洗較多的石墨舟，清洗效率大有提高。清洗槽底部設(shè)有導(dǎo)軌，加上平板車的高度，使得人工彎腰取放石墨舟比較方便，降低了操作強(qiáng)度，加之采用了推車，石墨舟與清洗槽不易產(chǎn)生摩擦而損壞，良品率大有提高。人工只需在清洗槽一端操作，減小了操作空間，適用操作空間較小的車間。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及太陽能硅片的槽式清洗設(shè)備和黑硅制絨設(shè)備，尤其涉及一種用于硅片鍍膜的承載件—石墨舟清洗運(yùn)載裝置。

背景技術(shù)

在太陽能電池硅片的氮化硅減反射膜沉積工藝中，一般采用石墨舟或者石墨框用作硅片的承載物。但在工藝過程中，作為承載物的石墨舟也會(huì)被沉積到氮化硅薄膜。該膜到一定厚度以后，就需要對(duì)石墨舟做先酸洗后水洗的清洗處理。目前業(yè)界普遍采用的清洗方法是先使用HF/HCL混合液濕法槽式清洗，即將石墨舟浸泡在存有HF/HCL的清洗槽中4~8小時(shí)，再抽點(diǎn)該槽子里的藥液，然后用清水漂洗，最后高溫烘箱烘4~8小時(shí)烘干。但是現(xiàn)有的清洗方式存在以下缺點(diǎn)：1、由于操作空間的限制，每次只能放一個(gè)石墨舟在清洗槽的一端進(jìn)行清洗，遠(yuǎn)離操作崗位的清洗槽的內(nèi)部空間不能充分利用，清洗效率較低；而且每次需要將石墨舟放置于清洗槽底部，人工取放比較困難，以致石墨舟與清洗槽易產(chǎn)生摩擦而損壞。

因此，如何克服現(xiàn)有石墨舟進(jìn)行清洗效率低、良品率低和操作強(qiáng)度大的缺陷是業(yè)界亟待解決的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有石墨舟清洗效率低、良品率低和操作強(qiáng)度大的問題，提出這一種清洗效率高、良品率高和操作強(qiáng)度低的石墨舟清洗運(yùn)載裝置。

本實(shí)用新型提出的一種石墨舟清洗運(yùn)載裝置，其包括：清洗槽、設(shè)有該清洗槽操作端內(nèi)壁面的卡槽；還包括位于所述清洗槽底部的平板車，與該平板車一端鉸接的雙拉桿，該雙拉桿的頭部設(shè)有卡勾，當(dāng)該雙拉桿放平時(shí)，所述的卡勾與所述的卡槽卡合 。

較優(yōu)的，所述的清洗槽底部設(shè)有導(dǎo)軌，所述的平板車的輪子在該導(dǎo)軌上滾動(dòng)。

較優(yōu)的，所述平板車的平板寬度與所述清洗槽底部寬度適配，而平板車的平板長(zhǎng)度加上所述雙拉桿放平時(shí)的長(zhǎng)度與清洗槽底部長(zhǎng)度適配。

本實(shí)用新型用于清洗石墨舟時(shí)，先將平板車?yán)角逑床鄄僮鞫耍瑢⑹鄯艥M平板車，然后將平板車推向清洗槽的遠(yuǎn)方，并將雙拉桿放平卡扣固定，再在該雙拉桿放置石墨舟。開始酸洗和清洗，如此一次可以清洗較多的石墨舟，清洗效率大有提高。由于清洗槽底部設(shè)有導(dǎo)軌，加上平板車的高度，使得人工取放石墨舟比較方便，降低了操作強(qiáng)度，加之采用了推車，石墨舟與清洗槽不易產(chǎn)生摩擦而損壞，良品率大有提高。人工只需在清洗槽一端操作，減小了操作空間，適用操作空間較小的車間。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明。

如圖1所示，為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，所述的石墨舟清洗運(yùn)載裝置，其包括：清洗槽1、設(shè)有該清洗槽1操作端內(nèi)壁面的卡槽2；還包括位于所述清洗槽1底部的平板車3，與該平板車一端鉸接的雙拉桿4，該雙拉桿的頭部設(shè)有卡勾5，當(dāng)該雙拉桿放平時(shí)，卡勾5與清洗槽1內(nèi)壁面的卡槽2卡合 。本實(shí)施例中，清洗槽1底部設(shè)有導(dǎo)軌6，平板車3的輪子7可在該導(dǎo)軌6上滾動(dòng)。平板車3的平板寬度盡量與清洗槽1底部的寬度適配，而平板車3的平板長(zhǎng)度加上雙拉桿4放平時(shí)的長(zhǎng)度與清洗槽底部長(zhǎng)度適配。