[實用新型]一種晶體原料用預處理裝置

有效

• 申請號: 201821216124.3
• 申請日: 2018-07-27
• 公開（公告）號: CN209010636U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 廖永建;周里華;張福亮
• 申請（專利權）人: 惠磊光電科技（上海）有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶體原料用預處理裝置，包括盛放裝置（3），所述盛放裝置（3）包括螺紋插接設置的連接筒（31）和對接筒（32），所述對接筒（32）遠離連接筒（31）一端開口設置，且其開口處向內延伸設有凸緣（321），還包括石英管（33），所述石英管（33）開口端向外延伸設有翻邊（331），所述石英管（33）插接于對接筒（32）中，所述翻邊（331）搭接于凸緣（321）靠近連接筒（31）一側設置，其特征在于，所述連接筒（31）中還同軸設有卡筒（34），所述卡筒（34）兩端開口設置，且饒其兩端端面設有橡膠圈（35），兩所述橡膠圈（35）分別抵設于翻邊（331）靠近連接筒（31）頂端的一側和連接筒（31）頂部內壁設置。

2.根據權利要求1所述的一種晶體原料用預處理裝置，其特征在于，所述凸緣（321）靠近連接筒（31）一側端面上開有環形階梯槽（3211），所述石英管（33）的翻邊（331）卡接于階梯槽中設置。

3.根據權利要求1所述的一種晶體原料用預處理裝置，其特征在于，繞所述卡筒（34）兩端端面分別設有環形卡塊（341），所述橡膠圈（35）靠近卡筒（34）一側配合開有環形卡槽（351），所述環形卡塊（341）卡接于環形卡槽（351）中。

4.根據權利要求1所述的一種晶體原料用預處理裝置，其特征在于，繞連接筒（31）外周、位于連接筒（31）頂部設有第一空心冷卻環（4），所述第一空心冷卻環（4）上、位于第一空心冷卻環（4）相對兩側分別連通設有進水管（5）和出水管（6）。

5.根據權利要求4所述的一種晶體原料用預處理裝置，其特征在于，所述第一空心冷卻環（4）與所述連接筒（31）一體成型設置，且所述連接筒（31）內周、對應第一空心冷卻環（4）位置設有第二空心冷卻環（8），所述第二空心冷卻環（8）連通第一空心冷卻環（4）設置，所述卡筒（34）遠離石英管（33）一側設置的橡膠圈（35）抵設于第二空心冷卻環（8）靠近石英管（33）一側的端面設置。

6.根據權利要求5所述的一種晶體原料用預處理裝置，其特征在于，所述第二空心冷卻環（8）靠近石英管（33）一側的端面上開有環形冷卻槽（81），所述卡筒（34）遠離石英管（33）一側的橡膠圈（35）插設于環形冷卻槽（81）中設置。

7.根據權利要求4所述的一種晶體原料用預處理裝置，其特征在于，多個所述盛放裝置（3）的第一空心冷卻環（4）通過進水管（5）與出水管（6）相互連通串聯設置，而位于邊緣側的盛放裝置（3）的進水管（5）連通水源設置。

8.根據權利要求7所述的一種晶體原料用預處理裝置，其特征在于，所述第一空心冷卻環（4）相對兩側的外壁上分別開有連通孔（41），每個盛放裝置（3）的所述進水管（5）和出水管（6）的一端分別螺紋插接在連通孔（41）中。