[實用新型]吸盤安裝結構及芯片抓取結構

有效

• 申請號: 201821211583.2
• 申請日: 2018-07-28
• 公開（公告）號: CN208499604U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 李志偉;吳航;劉鵬
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭集成電路有限公司
• 主分類號: B65G47/04
• 分類號: B65G47/04;B65G47/90
• 代理公司: 北京博訊知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11593
• 代理人: 柳興坤;劉馨月

本實用新型提供一種吸盤安裝結構及芯片抓取結構。吸盤安裝結構用于將吸盤安裝于基體上，安裝結構包括調節件和安裝部，吸盤通過安裝部與基體相連，調節件與安裝部連接，且調節件抵靠在基體上，或者，調節件與基體連接，且調節件抵靠在安裝部上，調節件通過調節安裝部與基體之間的距離，以調節吸盤的吸附面的方位狀態。本實用新型提供的吸盤安裝結構既能夠方便地調節吸盤的方位狀態，又能夠保證吸盤的運行可靠性，當吸盤應用于芯片的抓取時，能夠保證芯片的運動精度，避免芯片因吸盤位置偏移而導致芯片與其他結構發生擠壓甚至出現裂片的問題。

技術領域

本實用新型涉及芯片加工領域，具體涉及一種吸盤安裝結構及芯片抓取結構。

背景技術

在芯片的加工過程中，需要利用吸盤對芯片進行抓取、定位以及移位等操作，為了保證芯片的運動精度，避免因芯片角度不正而導致芯片受擠壓甚至發生裂片的情況，需要保證驅動芯片運動的吸盤的平行度。現有的調整吸盤平行度的方法是首先將吸盤掀開較大的縫隙，然后在縫隙中塞入墊片，這種調整方式的效率低，操作難度大，調節位置不靈活，且墊片極易發生脫落而導致吸盤位置偏移或者吸盤的平行度發生很大的變化，從而影響吸盤使用的可靠性。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的之一在于提供一種能夠方便快捷的調節吸盤的方位狀態的吸盤安裝結構及采用該吸盤安裝結構的芯片抓取結構。

為達到上述目的，一方面，本實用新型采用以下技術方案：

一種吸盤安裝結構，用于將吸盤安裝于基體上，所述安裝結構包括調節件和安裝部，所述吸盤通過所述安裝部與所述基體相連，所述調節件與所述安裝部連接，且所述調節件抵靠在所述基體上，或者，所述調節件與所述基體連接，且所述調節件抵靠在所述安裝部上，所述調節件通過調節所述安裝部與所述基體之間的距離，以調整所述吸盤的吸附面的方位狀態。

優選地，所述安裝部包括臂部，所述臂部的一端與所述吸盤相連，另一端通過緊固件與所述基體連接。

優選地，所述臂部呈板狀結構，所述調節件用于調節所述板狀結構相對所述基體的傾斜角度，以調整所述吸附面的方位狀態。

優選地，所述調節件包括桿件，所述桿件與所述板狀結構螺紋連接，且所述桿件的一端抵靠在所述基體上。

優選地，所述桿件的另一端的端面為操作面，所述操作面上設置有操作結構，用于與工具配合。

優選地，所述板狀結構呈長形，所述板狀結構具有沿其長度方向延伸的對稱軸，

所述緊固件設置有多個，多個所述緊固件相對所述對稱軸對稱布置；和/或，

所述調節件設置有多個，多個所述調節件相對所述對稱軸對稱布置。

優選地，在所述板狀結構的延伸方向上，所述調節件相互間隔設置有多個。

優選地，所述基體包括驅動裝置和連接件，所述安裝部與所述連接件連接，所述驅動裝置通過所述連接件驅動所述安裝部和所述吸盤動作，所述調節件用于調節所述安裝部與所述連接件之間的距離。

另一方面，本實用新型采用如下技術方案：

一種芯片抓取結構，包括吸盤和基體，所述吸盤用于抓取芯片，所述吸盤通過安裝結構安裝于基體上，所述安裝結構包括調節件和安裝部，所述吸盤通過所述安裝部與所述基體相連，所述調節件與所述安裝部連接，且所述調節件抵靠在所述基體上，或者，所述調節件與所述基體連接，且所述調節件抵靠在所述安裝部上，所述調節件通過調節所述安裝部與所述基體之間的距離，以調整所述吸盤的吸附面的方位狀態。

優選地，所述安裝部包括臂部，所述臂部的一端與所述吸盤相連，另一端通過緊固件與所述基體連接。

優選地，所述臂部呈板狀結構，所述調節件用于調節所述板狀結構相對于所述基體的傾斜角度，以調整所述吸附面的方位狀態。