[實(shí)用新型]一種用于濕式制程機(jī)臺(tái)的抽氣設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821194611.4
• 申請(qǐng)日: 2018-07-26
• 公開（公告）號(hào): CN208422876U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏杰;黃榮龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽宏實(shí)自動(dòng)化裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京和信華成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

1.一種用于濕式制程機(jī)臺(tái)的抽氣設(shè)備，包括設(shè)置在機(jī)臺(tái)頂部的抽氣設(shè)備主體(1)、排氣機(jī)構(gòu)、冷凝液回收機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述排氣機(jī)構(gòu)包括：輔排氣管(2)、主排氣管(3)、導(dǎo)流板(4)，抽氣設(shè)備主體(1)的兩側(cè)側(cè)壁開設(shè)有多個(gè)平行的輔通風(fēng)孔(11)，抽氣設(shè)備主體(1)的頂端開設(shè)有主通風(fēng)孔(12)，輔排氣管(2)和主排氣管(3)分別安裝在輔通風(fēng)孔(11)和主通風(fēng)孔(12)上，導(dǎo)流板(4)設(shè)置在主通風(fēng)孔(12)的下端；

所述輔排氣管(2)包括：一傾斜段(21)、一平行段(22)、一收縮段(23)，平行段(22)貫穿輔通風(fēng)孔(11)，傾斜段(21)與平行段(22)的外端連接且向上傾斜，收縮段(23)與平行段(22)的內(nèi)端連接；

所述冷凝液回收機(jī)構(gòu)包括：豎向輸送皮帶(5)、輥輪(6)、冷凝液盛裝斗(7)，豎向輸送皮帶(5)設(shè)置于收縮段(23)的內(nèi)側(cè)且可繞輥輪(6)循環(huán)運(yùn)動(dòng)，冷凝液盛裝斗(7)通過連接臂(8)與豎向輸送皮帶(5)連接，冷凝液盛裝斗(7)均勻分布在豎向輸送皮帶(5)上；

所述豎向輸送皮帶(5)的底部設(shè)有滲漏板(9)，滲漏板(9)的底部設(shè)有加熱板(10)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕式制程機(jī)臺(tái)的抽氣設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)流板(4)兩端部向下的延伸線與處于外側(cè)的冷凝液盛裝斗(7)相交。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕式制程機(jī)臺(tái)的抽氣設(shè)備，其特征在于，所述收縮段(23)遠(yuǎn)離平行段(22)的一端接近處于外側(cè)的冷凝液盛裝斗(7)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕式制程機(jī)臺(tái)的抽氣設(shè)備，其特征在于，所述傾斜段(21)與平行段(22)間的夾角為30-60度，傾斜段(21)上分布有交錯(cuò)設(shè)置的擋流板(211)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕式制程機(jī)臺(tái)的抽氣設(shè)備，其特征在于，所述滲漏板(9)的長(zhǎng)度大于抽氣設(shè)備主體(1)內(nèi)壁與處于內(nèi)側(cè)的冷凝液盛裝斗(7)間的距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕式制程機(jī)臺(tái)的抽氣設(shè)備，其特征在于，所述加熱板(10)內(nèi)設(shè)有電加熱絲，電機(jī)熱絲的加熱溫度為120-180℃。