[實用新型]一種圓形壓電振子驅動微流體閥

有效

• 申請號: 201821188368.5
• 申請日: 2018-07-26
• 公開（公告）號: CN208967170U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發明（設計）人: 吳越;劉江偉
• 申請（專利權）人: 長春隆美科技發展有限公司
• 主分類號: F16K31/02
• 分類號: F16K31/02;F16K1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種圓形壓電振子驅動微流體閥，包括：閥座（1）、柔性支架（2）、彈性懸架（3）、圓形壓電振子（4）和柔性閥塞（5），其中：所述閥座（1）上布置有流體入口（11）和流體出口（12），所述流體入口（11）位于所述閥座（1）的中心位置；所述柔性支架（2）為中空圓柱，內外側壁的中間部分分別加工有內側壁圓弧凹槽（21）和外側壁圓弧凹槽（22），且在其內側壁圓弧凹槽（21）上又加工有環形凹槽（23），且所述環形凹槽（23）位于內側壁圓弧凹槽（21）的上半部分圓弧位置；所述柔性支架（2）與所述閥座（1）外徑相同，連接于所述閥座（1）的上表面；所述圓形壓電振子（4）粘接在所述柔性支架（2）上端面，連同所述柔性支架（2）形成密封腔體；所述彈性懸架（3）布置于所述柔性支架（2）上的環形凹槽（23）內；所述彈性懸架（3）的中心部分布置有柔性閥塞安裝孔（31），將所述柔性閥塞（5）固定于所述柔性閥塞安裝孔（31）內。

2.根據權利要求1所述的圓形壓電振子驅動微流體閥，其特征在于：所述圓形壓電振子（4）采用由一片壓電薄片材料（41）粘貼在彈性基板（42）上形成的單晶片壓電振子，或由兩片壓電薄片材料（41）粘貼在彈性基板（42）兩側形成的雙晶片壓電振子。